本文關(guān)鍵詞：GaN基納米陣列LED器件制備及發(fā)光特性

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【摘要】：為了降低GaN材料中因應(yīng)變誘導(dǎo)的量子斯托克斯效應(yīng),增加器件有源區(qū)內(nèi)的電子-空穴波函數(shù)在實(shí)空間的交疊從而提高GaN基LEDs的發(fā)光效率,采用紫外軟壓印技術(shù)制備了均勻的周期性納米柱陣列結(jié)構(gòu),結(jié)合常規(guī)LED器件微加工技術(shù)獲得了In GaN/GaN基藍(lán)光與綠光納米陣列LED器件并對(duì)其進(jìn)行了表征分析。結(jié)果表明:納米柱陣列LED器件具有均勻的發(fā)光和穩(wěn)定的光電性能。納米結(jié)構(gòu)不僅有效緩解了量子阱中的應(yīng)力積累(弛豫度~70%),提高了器件的輻射復(fù)合幾率和出光效率,同時(shí)結(jié)合納米柱側(cè)壁的化學(xué)鈍化處理進(jìn)一步降低了器件有源區(qū)的缺陷密度,顯著降低了LED器件的漏電流(~10-7),最終提高了器件的發(fā)光效率。
【作者單位】： 南京大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： InGaN/GaN 發(fā)光二極管 納米柱 納米壓印
【基金】：國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃(2016YFB0400602,2016YFB0400100) 國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展規(guī)劃(2014AA032605,2015AA033305) 國(guó)家自然科學(xué)基金(61605071,61674076,61274003,61422401,51461135002,61334009) 江蘇省自然科學(xué)基金(BY2013077,BK20141320,BE2015111) 固態(tài)照明與節(jié)能電子學(xué)協(xié)同創(chuàng)新中心項(xiàng)目 江蘇省重點(diǎn)學(xué)科資助計(jì)劃 南京大學(xué)揚(yáng)州光電研究院研發(fā)基金資助項(xiàng)目
【分類(lèi)號(hào)】：TN312.8
【正文快照】： 1引言近些年來(lái),隨著Ⅲ族氮化物材料的飛速發(fā)展,基于Ⅲ族氮化物半導(dǎo)體材料的光電器件越來(lái)越受到人們的重視。特別是氮化鎵基發(fā)光二極管(LEDs),已經(jīng)在諸多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,如固態(tài)照明、信號(hào)燈和屏幕顯示等[1]。常規(guī)氮化鎵基LED通常在c面藍(lán)寶石襯底上外延In Ga N/Ga N多量子阱結(jié)

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 鄭啟倫;對(duì)稱(chēng)開(kāi)關(guān)邏輯的三值胞腔陣列[J];電子學(xué)通訊;1980年04期

2 DharmaP.Agrawal;林定基;;高速算術(shù)運(yùn)算陣列[J];電子計(jì)算機(jī)動(dòng)態(tài);1981年08期

3 何國(guó);;高速計(jì)算與小粒度數(shù)據(jù)流陣列[J];計(jì)算機(jī)研究與發(fā)展;1986年05期

4 鄭啟倫,伍國(guó)榮;三維陣列細(xì)胞結(jié)構(gòu)圖的性質(zhì)及其定理[J];計(jì)算機(jī)學(xué)報(bào);1980年02期

5 潘明,姜希莉;三維三值樹(shù)型細(xì)胞結(jié)構(gòu)的通用邏輯陣列[J];電子學(xué)報(bào);1983年04期

6 馮丹,張江陵;構(gòu)造高可靠性盤(pán)陣列結(jié)構(gòu)的研究[J];計(jì)算機(jī)工程與科學(xué);1996年03期

7 林勇;羅文堅(jiān);錢(qián)海;王煦法;;n×n陣列胚胎電子系統(tǒng)應(yīng)用中的優(yōu)化設(shè)計(jì)問(wèn)題分析[J];中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)學(xué)報(bào);2007年02期

8 艾水;;陣列天線結(jié)構(gòu)[J];電子機(jī)械工程;1993年05期

9 陳善繼;張銳戈;吳國(guó)慶;陳超;馬英;王濤;;極化敏感陣列及其應(yīng)用研究[J];現(xiàn)代電子技術(shù);2009年05期

10 余愷;印明;宗曉杰;王營(yíng)冠;王智;;基于壓縮感知的無(wú)線陣列及協(xié)同信號(hào)處理[J];計(jì)算機(jī)研究與發(fā)展;2014年01期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前9條

1 馬玉榮;;一維方解石單晶微納陣列結(jié)構(gòu)的可控合成[A];中國(guó)化學(xué)會(huì)第29屆學(xué)術(shù)年會(huì)摘要集——第05分會(huì)：無(wú)機(jī)化學(xué)[C];2014年

2 魏文博;葛廣路;;金納米棒垂直陣列的制備、表征與應(yīng)用[A];中國(guó)化學(xué)會(huì)第29屆學(xué)術(shù)年會(huì)摘要集——第33分會(huì)：納米材料合成與組裝[C];2014年

3 葉小舟;齊利民;;硫化鋅納米碗陣列的制備及其在傳感方面的應(yīng)用[A];中國(guó)化學(xué)會(huì)第28屆學(xué)術(shù)年會(huì)第12分會(huì)場(chǎng)摘要集[C];2012年

4 蔡金光;齊利民;;基于二氧化鈦納米棒陣列結(jié)構(gòu)的自清潔寬波段全方向減反射涂層[A];2011中國(guó)材料研討會(huì)論文摘要集[C];2011年

5 李宏俊;陳展鵠;李麗玲;;LED陣列失效特性分析及探討[A];海峽兩岸第九屆照明科技與營(yíng)銷(xiāo)研討會(huì)專(zhuān)題報(bào)告文集[C];2002年

6 毋芳芳;馬小健;馮金奎;錢(qián)逸泰;熊勝林;;三維Co_3O_4和CoO@C墻陣列形貌控制,形成機(jī)理以及鋰電性能的研究[A];中國(guó)化學(xué)會(huì)第29屆學(xué)術(shù)年會(huì)摘要集——第33分會(huì)：納米材料合成與組裝[C];2014年

7 魏志祥;李梅;黃際勇;;導(dǎo)電聚合物納米結(jié)構(gòu)陣列的制備和性能研究[A];2007年全國(guó)高分子學(xué)術(shù)論文報(bào)告會(huì)論文摘要集（上冊(cè)）[C];2007年

8 俞國(guó)軍;王森;鞏金龍;曹建清;朱德彰;;低能離子束輔助大面積制備納米點(diǎn)陣列[A];2006全國(guó)荷電粒子源、粒子束學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2006年

9 鐘留彪;張軍昌;江林;;多功能化等離子體念珠結(jié)構(gòu)的構(gòu)筑[A];中國(guó)化學(xué)會(huì)第29屆學(xué)術(shù)年會(huì)摘要集——第33分會(huì)：納米材料合成與組裝[C];2014年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 果然;基于中小孔徑陣列的超分辨測(cè)向算法[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2015年

2 姜家財(cái);基于成對(duì)陣列的多信號(hào)檢測(cè)與測(cè)向算法研究[D];電子科技大學(xué);2015年

3 曹佳;端射天線陣列機(jī)理與應(yīng)用研究[D];北京理工大學(xué);2015年

4 楊京;時(shí)間調(diào)制陣列理論與共形陣列技術(shù)研究[D];西安電子科技大學(xué);2015年

5 騰云;大氣壓空氣中百赫茲級(jí)納秒脈沖彌散放電的研究[D];華中科技大學(xué);2015年

6 代宇;憶阻器及其交叉陣列在數(shù)據(jù)存取和圖像識(shí)別中的應(yīng)用研究[D];重慶大學(xué);2015年

7 柏艷飛;波導(dǎo)陣列中光學(xué)模擬與量子行走的研究[D];南京大學(xué);2015年

8 門(mén)丹丹;高衍射強(qiáng)度二維有序陣列/水凝膠復(fù)合體系及可視化傳感研究[D];中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué);2016年

9 朱迪夫;通過(guò)多元方法構(gòu)造功能性有序微結(jié)構(gòu)陣列[D];吉林大學(xué);2010年

10 肖作毅;微反應(yīng)器中三維有序多孔陣列的制備[D];大連理工大學(xué);2010年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 歐陽(yáng)威信;半導(dǎo)體納米棒陣列的制備及其光電性能的測(cè)試[D];華南理工大學(xué);2015年

2 李淑彬;基于ZnO納米棒陣列的紫外光響應(yīng)性能研究[D];天津理工大學(xué);2015年

3 胡曉曉;金屬氧化物/二氧化鈦納米管陣列復(fù)合材料制備及其鋰電性能研究[D];昆明理工大學(xué);2015年

4 丁江放;耦合微懸臂陣列集體振動(dòng)模的光學(xué)囚禁及冷卻[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(武漢物理與數(shù)學(xué)研究所);2015年

5 賈小亞;鎳和氧化鎳有序孔陣列的構(gòu)筑及其性能研究[D];西南大學(xué);2015年

6 彭桃;基于遺傳算法的超聲稀疏陣列成像方法研究[D];西南交通大學(xué);2015年

7 楚東月;復(fù)合靜電吸附陣列的吸附性能研究及應(yīng)用[D];鄭州輕工業(yè)學(xué)院;2015年

8 凌雪燕;多切口金納米圓環(huán)陣列光學(xué)特性研究[D];陜西師范大學(xué);2015年

9 李鑫;基于MOS電阻陣列的紅外場(chǎng)景仿真系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)技術(shù)研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(上海技術(shù)物理研究所);2015年

10 張俊波;基于實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)的陣列校正與測(cè)向研究[D];電子科技大學(xué);2015年

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本文編號(hào)：747081