本文關(guān)鍵詞：靜電噴射法在柔性襯底上制備二氧化鈦薄膜

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【摘要】：在前驅(qū)體溶液的流速為60μL/min的條件下,使用靜電噴射技術(shù)在鋁箔上制備出了具有良好平整度和均勻性的二氧化鈦薄膜。薄膜的沉積速率為2mm/min。退火后的二氧化鈦薄膜為單晶銳鈦礦結(jié)構(gòu),在承受多次折疊之后沒有任何裂縫或脫落。以此方法在載玻片上制得二氧化鈦薄膜,用分光光度計測量了其400~1100 nm波長范圍內(nèi)的透光率,并與空白載玻片進行比較,得出此二氧化鈦薄膜的透光率約為95%。原子力顯微鏡分析顯示,薄膜的平整度達到99%。3M膠帶測試結(jié)果表明,鋁箔上的二氧化鈦薄膜具有很好的附著力。這種鍍膜方法有望用于生產(chǎn)大面積薄膜,在未來的工業(yè)應(yīng)用中有較好的發(fā)展前景。
【作者單位】： 南京理工大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 二氧化鈦 薄膜 鋁箔 靜電噴射 透光率 附著力
【分類號】：TN304.055
【正文快照】： 作為一種價格低廉、性能穩(wěn)定、無害無污染的半導(dǎo)體材料,二氧化鈦在許多領(lǐng)域起著不可替代的作用[1]。二氧化鈦不僅可用作染料敏化太陽能電池以及鈣鈦礦太陽能電池的電子傳輸材料[2],而且是自清潔玻璃的主要功能層之一[3]。近年來,隨著可穿戴電子設(shè)備的蓬勃發(fā)展,在鋁箔等柔性襯

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本文編號：746148