本文關(guān)鍵詞：磁流變拋光對熔石英激光損傷特性的影響

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【摘要】：為進一步提升熔石英元件的激光損傷閾值,研究了氫氟酸(HF)動態(tài)酸刻蝕條件下磁流變拋光工藝對熔石英元件激光損傷特性的影響規(guī)律。首先,采用不同工藝制備熔石英元件,測量它們的表面粗糙度。然后,采用飛行時間-二次離子質(zhì)譜法(OF-SIMS)檢測磁流變加工前后熔石英元件中金屬雜質(zhì)元素的含量和深度;采用1-on-1方法測試激光損傷閾值,觀測損傷形貌,并對損傷坑的形態(tài)進行統(tǒng)計。最后,分析了磁流變拋光工藝提升熔石英損傷閾值的原因。與未經(jīng)磁流變處理的熔石英元件進行了對比,結(jié)果顯示:磁流變拋光使熔石英元件的零概率激光損傷閾值提升了23.3%,金屬雜質(zhì)元素含量也顯著降低,尤其是對熔石英激光損傷特性有重要影響的Ce元素被完全消除。得到的結(jié)果表明,磁流變拋光工藝能夠被用作HF酸動態(tài)酸刻蝕的前道處理工藝。
【作者單位】： 國防科技大學(xué)機電工程與自動化學(xué)院湖南超精密加工技術(shù)重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 磁流變拋光 熔石英 光學(xué)元件 氫氟酸(HF)動態(tài)刻蝕 激光損傷閾值
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(No.51675526,No.91323302,No.51275521)
【分類號】：TN249
【正文快照】： 1引言在美國國家點火裝置[1]、法國兆焦耳激光系統(tǒng)[2]、中國神光裝置[3]等高功率激光裝置中,熔石英作為一種寬禁帶材料,廣泛應(yīng)用于制作紫外波段的聚焦透鏡、分光鏡和防護罩等元件。尤其在承受最高激光通量輻照的終端元件部分,熔石英光學(xué)元件的數(shù)量最多。然而,熔石英元件的激光

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本文編號：726278