發(fā)布時(shí)間：2017-08-15 18:28

  本文關(guān)鍵詞：柔性聲表面波器件的波模式分析

  更多相關(guān)文章： 聲表面波器件 柔性襯底 聚酰亞胺襯底 壓電薄膜 波模式 S蘭姆波

【摘要】：用反應(yīng)磁控濺射法在柔性聚酰亞胺襯底上沉積了ZnO壓電薄膜,并制備了基于ZnO壓電薄膜的柔性聲表面波(SAW)器件。制備的柔性SAW器件顯示了良好的諧振性能,而且展現(xiàn)出兩個(gè)波模式:模式0和模式1。當(dāng)波長為32μm,ZnO厚度為4μm時(shí),SAW器件的模式0和模式1的諧振頻率分別為34.4MHz和158.5MHz,對(duì)應(yīng)聲速為1 100.8m/s和5 072m/s。模式0為已知的瑞利波,模式1為新的高頻模式。沉積了不同厚度的ZnO薄膜制備柔性SAW器件,進(jìn)一步分析了薄膜厚度對(duì)SAW器件和模式1的影響。分析認(rèn)為該高頻模式不是傳統(tǒng)硬質(zhì)襯底上SAW器件產(chǎn)生的Sezawa波,而是S_0蘭姆波,并且是有襯底情況下的S_0蘭姆波。文中還采用Comsol仿真分析了新的高頻模式1的粒子振動(dòng)位移,結(jié)果和S_0蘭姆波粒子振動(dòng)位移一致,從而驗(yàn)證了其為廣義蘭姆波的正確性。
【作者單位】： 國防科學(xué)技術(shù)大學(xué)機(jī)電工程與自動(dòng)化學(xué)院;福建工程學(xué)院信息科學(xué)與工程學(xué)院;浙江大學(xué)信息與電子工程學(xué)院;南昌陸軍學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 聲表面波器件 柔性襯底 聚酰亞胺襯底 壓電薄膜 波模式 S蘭姆波
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.61204124) 中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)專項(xiàng)基金資助項(xiàng)目(No.2014QNA5002)
【分類號(hào)】：TN65
【正文快照】： (1.College of Mechatronic EngineeringAutomation,National University of Defense Technology,Changsha410073,China;2.College of Information ScienceEngineering,Fujian University of Technology,Fuzhou350108,China;3.College of Information ScienceElectron Engi

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中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 章安良,朱大中,孫穎;S型聲表面波器件特性分析[J];壓電與聲光;2005年04期

2 童建軍,陳書明,童筱鈞;聲表面波器件的封裝技術(shù)及其發(fā)展[J];電子與封裝;2005年08期

3 章安良;朱大中;林遠(yuǎn)龍;;Y型聲表面波器件特性分析[J];固體電子學(xué)研究與進(jìn)展;2007年01期

4 ;關(guān)于一些聲表面波器件的報(bào)導(dǎo)[J];壓電與聲光;1977年01期

5 PeterGrant,楊清宗;在表面以下獲得的聲表面波器件[J];壓電與聲光;1979年01期

6 M.F.Lewis,楊國慶;紀(jì)念聲表面波器件的奠基人——英國物理學(xué)家瑞利發(fā)現(xiàn)瑞利波100周年 聲表面波器件的最新進(jìn)展(一)[J];壓電與聲光;1985年05期

7 宋懿;聲表面波器件與標(biāo)準(zhǔn)[J];電子標(biāo)準(zhǔn)化與質(zhì)量;1997年06期

8 馬偉方,施文康,劉艾;聲表面波器件溫度敏感性研究[J];壓電與聲光;2000年05期

9 李暉,潘峰;聲表面波器件的研究進(jìn)展[J];真空科學(xué)與技術(shù);2001年05期

10 胡蘭芳;聲表面波器件頻率溫度特性研究[J];四川師范大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2001年04期

中國重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 朱嘉琦;雷沛;韓杰才;王賽;;四面體非晶碳作為薄膜聲表面波器件增頻襯底的研究[A];第七屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（第2分冊(cè)）[C];2010年

2 林彬;章德;方暉;;用多次校正法補(bǔ)償聲表面波器件中的衍射效應(yīng)[A];中國聲學(xué)學(xué)會(huì)2002年全國聲學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2002年

3 李冬梅;陳菁菁;潘峰;;鎳過鍍層對(duì)高頻聲表面波器件微結(jié)構(gòu)與性能的影響[A];TFC’03全國薄膜技術(shù)學(xué)術(shù)研討會(huì)論文摘要集[C];2003年

4 曹明;于小利;羅中涌;公勛;章德;;聲表面波器件的有限時(shí)域差分模擬[A];中國聲學(xué)學(xué)會(huì)第九屆青年學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2011年

5 陳菁菁;李冬梅;潘峰;;新型薄膜聲表面波器件中氧化鋅薄膜的研制[A];TFC’03全國薄膜技術(shù)學(xué)術(shù)研討會(huì)論文摘要集[C];2003年

6 陳菁菁;李冬梅;潘峰;;新型聲表面波器件中氧化鋅薄膜的研制[A];薄膜技術(shù)學(xué)術(shù)研討會(huì)論文集[C];2003年

7 王文;何世堂;;電極阻抗對(duì)于聲表面波器件頻率響應(yīng)特性的影響研究[A];中國聲學(xué)學(xué)會(huì)2005年青年學(xué)術(shù)會(huì)議[CYCA'05]論文集[C];2005年

8 陳希明;徐晟;馬靖;楊保和;;多層結(jié)構(gòu)高頻聲表面波器件的模擬[A];光電技術(shù)與系統(tǒng)文選——中國光學(xué)學(xué)會(huì)光電技術(shù)專業(yè)委員會(huì)成立二十周年暨第十一屆全國光電技術(shù)與系統(tǒng)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2005年

9 黃遠(yuǎn)軍;樂天;李紅浪;;硅酸鎵鑭聲表面波器件高溫性能的實(shí)驗(yàn)研究[A];2011'中國西部聲學(xué)學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2011年

10 徐愛斌;歐葉芳;;聲表面波器件芯片附著強(qiáng)度不合格因素分析與改進(jìn)措施研究[A];第十一屆全國可靠性物理學(xué)術(shù)討論會(huì)論文集[C];2005年

中國重要報(bào)紙全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 宋瑤 徐英淑;讓月球圖像沒有馬賽克[N];科技日?qǐng)?bào);2014年

2 徐英淑 段斌;確保探測器通信暢通的“一級(jí)護(hù)衛(wèi)”[N];中國航天報(bào);2013年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 王昊;聲表面波器件的快速精確模擬研究[D];南京大學(xué);2013年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 王瑩瑩;聲表面波器件設(shè)計(jì)及測試裝置的研究[D];長安大學(xué);2015年

2 徐賀華;聲表面波器件中聲波傳播特性的研究[D];天津大學(xué);2007年

3 康迤;聲表面波器件的設(shè)計(jì)及其應(yīng)用振蕩器電路實(shí)現(xiàn)[D];長安大學(xué);2011年

4 朱樹眾;聲表面波器件的模擬與仿真[D];天津理工大學(xué);2012年

5 徐鑫;聲表面波器件的設(shè)計(jì)仿真及其應(yīng)用研究[D];長安大學(xué);2014年

6 馮亞菲;聲表面波器件的制備及其性能研究[D];黑龍江大學(xué);2008年

7 馬靖;多層結(jié)構(gòu)高頻聲表面波器件的分析與研制[D];天津理工大學(xué);2005年

8 魏強(qiáng);聲表面波器件在直擴(kuò)通訊系統(tǒng)中的應(yīng)用研究[D];電子科技大學(xué);2003年

9 尹濤濤;適用高頻SAW器件的AlN（100）制備及性能研究[D];天津理工大學(xué);2012年

10 王玄洋;聲表面波器件微制造技術(shù)研究[D];西安工業(yè)大學(xué);2015年

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