本文關(guān)鍵詞：柔性聲表面波器件的波模式分析

  更多相關(guān)文章： 聲表面波器件 柔性襯底 聚酰亞胺襯底 壓電薄膜 波模式 S蘭姆波

【摘要】：用反應磁控濺射法在柔性聚酰亞胺襯底上沉積了ZnO壓電薄膜,并制備了基于ZnO壓電薄膜的柔性聲表面波(SAW)器件。制備的柔性SAW器件顯示了良好的諧振性能,而且展現(xiàn)出兩個波模式:模式0和模式1。當波長為32μm,ZnO厚度為4μm時,SAW器件的模式0和模式1的諧振頻率分別為34.4MHz和158.5MHz,對應聲速為1 100.8m/s和5 072m/s。模式0為已知的瑞利波,模式1為新的高頻模式。沉積了不同厚度的ZnO薄膜制備柔性SAW器件,進一步分析了薄膜厚度對SAW器件和模式1的影響。分析認為該高頻模式不是傳統(tǒng)硬質(zhì)襯底上SAW器件產(chǎn)生的Sezawa波,而是S_0蘭姆波,并且是有襯底情況下的S_0蘭姆波。文中還采用Comsol仿真分析了新的高頻模式1的粒子振動位移,結(jié)果和S_0蘭姆波粒子振動位移一致,從而驗證了其為廣義蘭姆波的正確性。
【作者單位】： 國防科學技術(shù)大學機電工程與自動化學院;福建工程學院信息科學與工程學院;浙江大學信息與電子工程學院;南昌陸軍學院;
【關(guān)鍵詞】： 聲表面波器件 柔性襯底 聚酰亞胺襯底 壓電薄膜 波模式 S蘭姆波
【基金】：國家自然科學基金資助項目(No.61204124) 中央高�；究蒲袠I(yè)務費專項基金資助項目(No.2014QNA5002)
【分類號】：TN65
【正文快照】： (1.College of Mechatronic EngineeringAutomation,National University of Defense Technology,Changsha410073,China;2.College of Information ScienceEngineering,Fujian University of Technology,Fuzhou350108,China;3.College of Information ScienceElectron Engi

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