本文關(guān)鍵詞：基于GaN基HEMT結(jié)構(gòu)的傳感器件研究進(jìn)展

  更多相關(guān)文章： AlGaN/GaN異質(zhì)結(jié) DEG GaN基HEMT傳感器 柵結(jié)構(gòu) 光探測器

【摘要】：GaN基高電子遷移率晶體管(HEMT)具有異質(zhì)結(jié)界面處的高二維電子氣(2DEG)濃度、寬禁帶、高擊穿電壓、穩(wěn)定的化學(xué)性質(zhì)以及高的電子遷移率,這些特性使它發(fā)展起來的傳感器件在靈敏度、響應(yīng)速度、探測面、適應(yīng)惡劣環(huán)境上具備了顯著的優(yōu)點。本文首先圍繞GaN基HEMT的基本結(jié)構(gòu)發(fā)展起來的兩類研究成熟的傳感器,對其結(jié)構(gòu)、工作機(jī)理、工作進(jìn)展以及優(yōu)缺點進(jìn)行了探討與總結(jié);而后,著重從改變器件材料及優(yōu)化柵結(jié)構(gòu)與柵上材料的角度,闡述了3種GaN基HEMT新型傳感器的最新進(jìn)展,其中,從材料體系、關(guān)鍵工藝、探測結(jié)構(gòu)、原理及新機(jī)理方面重點介紹了GaN基HEMT光探測器;最后,探索了GaN基HEMT傳感器件未來的發(fā)展方向。
【作者單位】： 北京工業(yè)大學(xué)光電子技術(shù)教育部重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： AlGaN/GaN異質(zhì)結(jié) DEG GaN基HEMT傳感器 柵結(jié)構(gòu) 光探測器
【基金】：教師隊伍建設(shè)(PXM2016_014204_000017_00205938_FCG)青年拔尖項目(市級) 國家自然科學(xué)基金(61574011) 北京市自然科學(xué)基金(4142005) 北京市教委能力提升項目(PXM2016_014204_500018)資助
【分類號】：TN386;TP212
【正文快照】： 1引言Ga N基HEMT傳感器是基于Al Ga N/Ga N異質(zhì)結(jié)處的二維電子氣(2DEG)易受表面態(tài)控制的特性而發(fā)展起來的一種新型傳感探測器件。在Ga N基HEMT結(jié)構(gòu)中,異質(zhì)結(jié)Al Ga N/Ga N界面處會形成一個2DEG的表面通道,勢阱中的2DEG受控于柵極電壓[1],且這層2DEG十分接近表面,對表面的狀態(tài)十

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 陳文遠(yuǎn);傳感器技術(shù)的發(fā)展趨勢[J];機(jī)電工程;1996年04期

2 鄭長義,王立中,楊一川;新微型醫(yī)用傳感器[J];松遼學(xué)刊(自然科學(xué)版);2000年04期

3 ;加快醫(yī)療設(shè)備傳感器的研制,擁有自主知識產(chǎn)權(quán)[J];傳感器世界;2002年10期

4 ;用于消費電子領(lǐng)域的雙軸向傳感器[J];今日電子;2004年07期

5 ;用于消費電子的雙軸向傳感器[J];世界電子元器件;2004年09期

6 Jon Titus;;設(shè)計更加智能的傳感器[J];電子產(chǎn)品世界;2006年08期

7 房開瑞;;計量(測量)系統(tǒng)中獲取信號的傳感器[J];中國計量;2006年11期

8 葛君山;;傳感器實驗教學(xué)初探[J];科技創(chuàng)新導(dǎo)報;2008年33期

9 卞正崗;;傳感器技術(shù)和市場發(fā)展趨勢[J];軟件;2008年02期

10 ;傳感器[J];今日電子;2008年10期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前6條

1 張美;代吉祥;楊明紅;周樹民;周培;;基于表面等離子體共振的鈀膜氫氣傳感器的研究[A];中國光學(xué)學(xué)會2011年學(xué)術(shù)大會摘要集[C];2011年

2 王策;李振宇;張弘楠;王威;宋曉峰;王煜;王兆杰;;電紡絲納米纖維在傳感器件上的應(yīng)用與展望[A];中國化學(xué)會第26屆學(xué)術(shù)年會納米化學(xué)分會場論文集[C];2008年

3 宋世嬌;安俊明;趙雷;王亮亮;吳遠(yuǎn)大;胡雄偉;;硅納米槽微環(huán)傳感器的優(yōu)化[A];中國光學(xué)學(xué)會2010年光學(xué)大會論文集[C];2010年

4 陳峰;章德;謝中華;;SAW質(zhì)量傳感器的實驗研究[A];2007’促進(jìn)西部發(fā)展聲學(xué)學(xué)術(shù)交流會論文集[C];2007年

5 胡建人;秦會斌;;特種CCD傳感器及系統(tǒng)研發(fā)策略研究[A];第十屆全國敏感元件與傳感器學(xué)術(shù)會議論文集[C];2007年

6 全寶富;何月華;王彪;梁喜雙;鐘鐵鋼;;固體電解質(zhì)CO_2傳感器的研究與進(jìn)展[A];第十屆全國敏感元件與傳感器學(xué)術(shù)會議論文集[C];2007年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前8條

1 中國第十三冶金建設(shè)公司 薛志;淺談傳感器的功能及應(yīng)用[N];山西科技報;2003年

2 本報記者 陳炳欣;傳感器創(chuàng)新進(jìn)入“高發(fā)期”[N];中國電子報;2013年

3 劉曉;新傳感器,用科技“感知”未來[N];江陰日報;2010年

4 記者 過國忠;美新半導(dǎo)體(無錫)公司微納傳感器技術(shù)獲多項突破[N];科技日報;2010年

5 賽迪顧問研究員 李東宏;2003年我國傳感器銷售額達(dá)186億元[N];中國電子報;2004年

6 電子科技大學(xué)教育部傳感器技術(shù)重點實驗室 楊邦朝　將亞東;傳感器應(yīng)用“感知世博”[N];中國電子報;2010年

7 本報記者 韓霽;報效國家不需要理由[N];經(jīng)濟(jì)日報;2012年

8 特約記者 李東才 駐武漢記者 黎江東;光纖高溫傳感器達(dá)到國際領(lǐng)先水平[N];中國建材報;2001年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 梁濤;碲微納材料制備及其傳感器件研究[D];北京科技大學(xué);2015年

2 陳慶梅;細(xì)胞網(wǎng)絡(luò)和組織傳感器及其在嗅覺時空信號分析中的應(yīng)用研究[D];浙江大學(xué);2011年

3 高仁t，

本文編號：640470