本文關(guān)鍵詞：基于高重復(fù)頻率飛秒激光直寫技術(shù)制作衍射光柵的研究

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【摘要】：基于由光子晶體光纖飛秒激光器產(chǎn)生的高重復(fù)頻率飛秒激光搭建了飛秒激光微加工系統(tǒng),利用LabVIEW編寫程序精密控制三維移動(dòng)平臺(tái)的移動(dòng)路徑和高速快門,在加工功率為1.5W、移動(dòng)速率為1mm/s時(shí),利用直寫技術(shù)在無膠鉻版上得到了微米量級(jí)的任意形狀的平面衍射光柵。利用CCD相機(jī)對(duì)光柵制備過程進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)視,保證了光柵的加工質(zhì)量。制備的光柵在顯微鏡下觀察,條紋邊緣清晰、線紋粗細(xì)均勻。使用He-Ne激光照射加工的光柵,可以獲得清晰、穩(wěn)定、與理論符合很好的夫瑯和費(fèi)(Frauhofer)衍射圖樣,顯示了所加工的光柵具有良好的光學(xué)性能。實(shí)驗(yàn)結(jié)果也表明了光子晶體光纖飛秒激光在光柵制作過程中所具備的良好的加工性能。
【作者單位】： 山東交通學(xué)院理學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 超快光學(xué) 光子晶體光纖 飛秒激光加工 光柵
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(11104164)
【分類號(hào)】：TN249
【正文快照】：

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本文編號(hào)：633112