發(fā)布時(shí)間：2017-08-07 00:08

  本文關(guān)鍵詞：一種用于靜電保護(hù)的快速開啟SCR器件

  更多相關(guān)文章： 靜電泄放 SCR 橫向基區(qū)變摻雜 內(nèi)建電場 開啟速度

【摘要】：提出了一種用于提高靜電泄放(ESD)保護(hù)器件開啟速度的SCR器件(VSCR)。VSCR采用了新型的橫向基區(qū)變摻雜結(jié)構(gòu)(VLBD),其開啟速度主要由寄生p-n-p和n-p-n晶體管的基區(qū)渡越時(shí)間決定,使用VLBD結(jié)構(gòu)能夠減小寄生雙極型晶體管的基區(qū)渡越時(shí)間,從而提高SCR器件的開啟速度。實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明,在不增加掩膜版數(shù)量和芯片面積的前提下,相比于傳統(tǒng)均勻基區(qū)摻雜的MLSCR器件,采用VLBD結(jié)構(gòu)的VSCR器件的開啟速度能夠提高12%。
【作者單位】： 電子科技大學(xué)通信與信息工程學(xué)院;電子科技大學(xué)電子薄膜與集成器件國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 靜電泄放 SCR 橫向基區(qū)變摻雜 內(nèi)建電場 開啟速度
【基金】：四川省科技支撐資助項(xiàng)目(2016GZ0115) 中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)資助項(xiàng)目(ZYGX2015J035)
【分類號】：TN34
【正文快照】： 1引言晶閘管(SCR)可以在最小的版圖面積下實(shí)現(xiàn)最高的ESD魯棒性,是一種非常有效的ESD保護(hù)器件[1]。同時(shí),SCR存在一些缺點(diǎn),如較高的觸發(fā)電壓和較低的開啟速度等。隨著工藝的不斷進(jìn)步,器件的柵氧化層厚度不斷減小,擊穿時(shí)間(tBD)以及擊穿電荷(QBD)也會(huì)減小。為了有效地防止超薄柵

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前9條

1 馮煥銀;何世恩;譚子美;;判斷可控硅SCR故障的研究[J];西部探礦工程;2010年09期

2 簡耀佳;張幽彤;李璞;;柴油機(jī)SCR電控單元設(shè)計(jì)研究[J];微計(jì)算機(jī)信息;2010年23期

3 方剛,崔學(xué)深,肖剛,沈金波,郭雁珩;單片機(jī)控制的SCR通用驅(qū)動(dòng)裝置及其典型應(yīng)用[J];現(xiàn)代電力;2003年Z1期

4 金鵬,張生才,李樹榮,趙毅強(qiáng),姚素英;SCR器件在CMOS靜電保護(hù)電路中的應(yīng)用[J];微電子學(xué);2004年01期

5 何伯方;〔Scr〕計(jì)算機(jī)病毒的分析與清除[J];浙江農(nóng)村技術(shù)師專學(xué)報(bào);1996年04期

6 J.B.Plan ,S.J.Jorna ,Y.T.Chan ,章昆;SCR直流電機(jī)位置或速度驅(qū)動(dòng)裝置的微處理機(jī)控制[J];國外自動(dòng)化;1981年06期

7 王昌松;邊敦新;孟祥志;王紅蕾;;基于組態(tài)軟件的SCR尿素泵測試系統(tǒng)的設(shè)計(jì)[J];工業(yè)控制計(jì)算機(jī);2013年08期

8 戴沁蕓,胡捍英;源控制速率機(jī)制(SCR)[J];電聲技術(shù);2002年06期

9 ;[J];;年期

中國重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫 前8條

1 周垣平;張軍民;;淺議在烤煙生產(chǎn)中推廣SCR調(diào)控肥的示范效果[A];山西省煙草學(xué)會(huì)2006年學(xué)術(shù)交流獲獎(jiǎng)?wù)撐募痆C];2006年

2 周垣平;張軍民;;淺議在烤煙生產(chǎn)中推廣SCR調(diào)控肥的示范效果[A];華北、東北地區(qū)2007年度煙草學(xué)術(shù)交流研討會(huì)論文集[C];2007年

3 劉曉敏;;煙氣脫硝SCR裝置噴氨優(yōu)化研究[A];全國第八屆電站鍋爐專業(yè)技術(shù)交流年會(huì)論文集[C];2013年

4 趙富;于文海;馬文林;高甲午;逯巖輝;趙善祥;楊向文;馮杰;王穎潔;邊靜;;質(zhì)疑最佳電火花率除塵法的理論基礎(chǔ)——解析傳統(tǒng)SCR工頻電源的最佳電火花率控制策略[A];第十三屆中國電除塵學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2009年

5 雷達(dá);吳其榮;李朝貴;潘茂華;;SCR煙氣脫硝化學(xué)動(dòng)力學(xué)模擬研究[A];重慶市電機(jī)工程學(xué)會(huì)2010年學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2010年

6 王昕;;關(guān)于景德鎮(zhèn)電廠SCR倉泵結(jié)焦問題淺析[A];第四屆火電行業(yè)化學(xué)(環(huán)保)專業(yè)技術(shù)交流會(huì)論文集[C];2013年

7 李濤;慕鍇;張劍;;SCR轉(zhuǎn)子調(diào)速器的應(yīng)用及節(jié)能技術(shù)分析[A];全國火電大機(jī)組（300MW級）競賽第三十五屆年會(huì)論文集[C];2006年

8 劉建禹;菅盤銘;;SCR復(fù)合氧化物脫硝催化劑的制備及表征[A];第十屆全國工業(yè)催化技術(shù)及應(yīng)用年會(huì)論文集[C];2013年

中國重要報(bào)紙全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 王光睿 李積軒;全球首臺低速機(jī)SCR裝置進(jìn)入實(shí)船試驗(yàn)階段[N];中國船舶報(bào);2011年

2 吳小春　記者 陳鐵;SCR使國產(chǎn)重載車尾氣排放達(dá)到國際標(biāo)準(zhǔn)[N];中國質(zhì)量報(bào);2008年

3 成都 新力;可控硅SCR穩(wěn)壓電源[N];電子報(bào);2004年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 周昊;SCR低溫脫硝催化劑的制備與研究[D];中國礦業(yè)大學(xué)(北京);2016年

2 王懿;基于觸地點(diǎn)管土相互作用的深水SCR安裝力學(xué)模型研究[D];大連理工大學(xué);2011年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 惠大可;船舶柴油機(jī)SCR反應(yīng)器結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化研究[D];集美大學(xué);2015年

2 宋彥美;回轉(zhuǎn)式空氣預(yù)熱器作為SCR反應(yīng)器的數(shù)值模擬研究[D];山東大學(xué);2015年

3 郝俊利;鍋爐后建SCR研究及設(shè)備工程風(fēng)險(xiǎn)管理[D];華北電力大學(xué);2015年

4 顧曉婷;SCR裝置對鍋爐煙風(fēng)參數(shù)影響研究[D];上海交通大學(xué);2014年

5 李迎;采用多次噴射結(jié)合SCR實(shí)現(xiàn)柴油機(jī)低排放的CFD研究[D];河北工業(yè)大學(xué);2015年

6 徐秀林;SCR蜂窩狀脫硝催化劑磨損研究[D];浙江大學(xué);2015年

7 陳志剛;柴油發(fā)動(dòng)機(jī)尿素SCR控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)方法研究[D];吉林大學(xué);2016年

8 朱麗麗;基于碳納米管的低溫SCR反應(yīng)機(jī)理的分子模擬研究[D];華南理工大學(xué);2012年

9 高興;燃煤鍋爐SCR裝置物模試驗(yàn)與堿液吸收NO_X反應(yīng)性能研究[D];清華大學(xué);2014年

10 代圣;柴油車SCR凈化器結(jié)構(gòu)優(yōu)化研究[D];江南大學(xué);2012年

，

本文編號：632005