本文關(guān)鍵詞：空間分辨率對(duì)半導(dǎo)體器件光學(xué)測(cè)溫結(jié)果的影響

  更多相關(guān)文章： 空間分辨率 數(shù)值孔徑 溫度檢測(cè) 半導(dǎo)體器件

【摘要】：從空間分辨率的定義出發(fā),指出物鏡的數(shù)值孔徑和光的波長(zhǎng)是決定光學(xué)儀器空間分辨率的主要因素。給出了空間分辨率影響半導(dǎo)體器件結(jié)溫檢測(cè)結(jié)果準(zhǔn)確度的原理。對(duì)GaN HEMT進(jìn)行了不同空間分辨率下的顯微紅外溫度檢測(cè),較低空間分辨率下的測(cè)溫結(jié)果低于高空間分辨率下的測(cè)溫結(jié)果,證明空間分辨率的不足會(huì)導(dǎo)致溫度測(cè)量結(jié)果偏低。
【作者單位】： 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所;
【關(guān)鍵詞】： 空間分辨率 數(shù)值孔徑 溫度檢測(cè) 半導(dǎo)體器件
【分類號(hào)】：TN303
【正文快照】： 0引言 可見光熱反射測(cè)溫儀器丨M。此類儀器的突出優(yōu)基于光學(xué)原理的溫度檢測(cè)技術(shù)已經(jīng)在半導(dǎo)勢(shì)是非接觸測(cè)溫,不會(huì)影響被測(cè)器件或產(chǎn)品的體器件溫度測(cè)量領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用,尤其是 工作狀態(tài),可以檢測(cè)器件表面的溫度分布,測(cè)試對(duì)工作在大功率條件下的器件,光學(xué)溫度檢測(cè)技 結(jié)果直觀。，

本文編號(hào)：631237