本文關(guān)鍵詞：加熱器位置對(duì)多晶硅定向凝固熱場(chǎng)的影響

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【摘要】：運(yùn)用有限元軟件COMSOL Multiphysics 4.3a對(duì)多晶硅定向凝固過(guò)程進(jìn)行了全局瞬態(tài)模擬,在多晶硅鑄錠爐頂部加熱器與側(cè)部加熱器的垂直距離分別為60、150、300 mm時(shí),分析了其對(duì)多晶硅熔化以及結(jié)晶初期的影響。結(jié)果表明:距離為60 mm時(shí)硅料熔化所需時(shí)間最長(zhǎng),而距離為150、300 mm時(shí)硅料熔化時(shí)間與其相比分別少34、60 min;對(duì)于結(jié)晶初期的固液界面,距離為60 mm時(shí)固液界面接近于平面,有利于多晶硅晶體生長(zhǎng),而距離為150、300 mm時(shí)固液界面均呈現(xiàn)明顯的凸形,并且后者比前者凸起的程度更大,會(huì)降低多晶硅錠的質(zhì)量。
【作者單位】： 南昌大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;新余學(xué)院新能源科學(xué)與工程學(xué)院;江西省高等學(xué)校硅材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 多晶硅 熱場(chǎng) 定向凝固 數(shù)值模擬
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51164033) 江西省自然科學(xué)基金項(xiàng)目(20132BAB206021) 江西省高等學(xué)校科技落地計(jì)劃項(xiàng)目(KJLD12050) 江西省教育廳科學(xué)技術(shù)研究項(xiàng)目(11739,12748)
【分類(lèi)號(hào)】：TN304.12
【正文快照】： 定向凝固技術(shù)是多晶硅錠最主要的生產(chǎn)方法。對(duì)定向凝固爐的熱場(chǎng)進(jìn)行優(yōu)化是非常有必要的,因?yàn)闊釄?chǎng)在很大程度上決定了多晶硅錠的質(zhì)量[1]。加熱器為整個(gè)定向凝固爐熱場(chǎng)系統(tǒng)提供熱源,是控制熱場(chǎng)最重要的因素。隨著硅錠的尺寸不斷加大,為了更好地控制熱場(chǎng),采用多個(gè)加熱器的凝固爐

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：630964