本文關(guān)鍵詞：非晶硅薄膜和結(jié)晶硅薄膜的拉曼光譜

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【摘要】：以玻璃為襯底,利用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積工藝制備了非晶硅(α-Si)薄膜,然后通過(guò)準(zhǔn)分子激光晶化方式獲得結(jié)晶硅(nc-Si)薄膜,采用激光顯微拉曼光譜儀對(duì)非晶硅薄膜、結(jié)晶硅薄膜這兩類薄膜的拉曼光譜效應(yīng)和結(jié)晶質(zhì)量等進(jìn)行了定量分析。結(jié)果表明:當(dāng)激光功率達(dá)到某一閾值時(shí),非晶硅樣品發(fā)生了晶化,即由非晶硅轉(zhuǎn)化成了結(jié)晶硅,特征峰發(fā)生了46.8 cm-1的位移,薄膜的結(jié)晶性質(zhì)發(fā)生根本變化。而結(jié)晶硅樣品在激光功率變化過(guò)程中僅因能量積聚造成了薄膜內(nèi)應(yīng)力變化,激光能量消散后內(nèi)應(yīng)力恢復(fù)原來(lái)的狀態(tài),特征峰在±5.4 cm~(-1)位移內(nèi)波動(dòng),薄膜的結(jié)晶性質(zhì)并未發(fā)生明顯變化,表明薄膜處于穩(wěn)定的晶態(tài)結(jié)構(gòu)。
【作者單位】： 上海工程技術(shù)大學(xué)材料工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 非晶硅薄膜 結(jié)晶硅薄膜 準(zhǔn)分子激光晶化 拉曼光譜 拉曼位移
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)青年基金資助項(xiàng)目(61404082) 上海市市級(jí)大學(xué)生創(chuàng)新訓(xùn)練資助項(xiàng)目(cs1505010)
【分類號(hào)】：TN304.12
【正文快照】： Tel.:18321336972;E-mail:1943605835@qq.com通信作者:張霞(1980-),女,湖北荊門人,副教授,碩士生導(dǎo)師,主要研究方向?yàn)榘雽?dǎo)體薄膜。Tel.:021-67791205;E-mail:zhangxia@sues.edu.cn0引言以非晶硅(α-Si)和多晶硅(nc-Si)薄膜為代表的半導(dǎo)體材料,在顯示、存儲(chǔ)和節(jié)能等領(lǐng)域均有廣

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：596706