本文關(guān)鍵詞：基于飛秒激光的表面微納加工技術(shù)綜述與展望

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【摘要】：飛秒激光脈沖寬度超短、峰值功率超強(qiáng),在表面微納加工領(lǐng)域得到了廣泛的關(guān)注和應(yīng)用。簡(jiǎn)述了飛秒激光誕生至今的應(yīng)用概況,然后依據(jù)不同的加工對(duì)象(金屬、透明材料、聚合物)闡述了飛秒激光與其相互作用的機(jī)理,從激光燒蝕、雙光子聚合加工、飛秒激光微納加工系統(tǒng)3方面對(duì)飛秒激光表面微納加工技術(shù)進(jìn)行了綜述,最后探討了待解決問(wèn)題并進(jìn)行了展望。
【作者單位】： 裝甲兵工程學(xué)院裝備再制造技術(shù)國(guó)防科技重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 飛秒激光 表面微納加工 激光燒蝕 雙光子聚合
【基金】：國(guó)家“973”計(jì)劃項(xiàng)目(2011CB013403)
【分類號(hào)】：TN249
【正文快照】： 表面微納加工技術(shù)是在材料、機(jī)械、電氣和生物醫(yī)學(xué)等基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的前沿交叉技術(shù),加工內(nèi)容包括特征尺寸在1 nm~1 mm之間的微納米器件、微納米尺度的微結(jié)構(gòu)和表面微納織構(gòu)等。目前,已有諸多技術(shù)如微注塑成型技術(shù)、高能束(電子束、CO2激光、等離子體等)刻蝕技術(shù)和電氣化學(xué)微加

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5 魯欣;張U，

本文編號(hào)：595797