本文關(guān)鍵詞：355nm納秒和1064nm皮秒激光加工藍(lán)寶石研究

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【摘要】：利用波長(zhǎng)355nm的納秒激光和1064nm的皮秒激光對(duì)藍(lán)寶石基片進(jìn)行刻槽及切割實(shí)驗(yàn),通過(guò)控制變量法研究了微槽深度、寬度及質(zhì)量隨工藝參數(shù)變化的情況,并進(jìn)行對(duì)比分析。結(jié)果表明,355nm納秒激光加工過(guò)程存在很大的熱作用,而且刻蝕效率低,即使其峰值功率密度達(dá)到109 W/cm2也不能實(shí)現(xiàn)對(duì)藍(lán)寶石毛坯片的圖形切割;而1064nm皮秒紅外激光切割微槽的質(zhì)量很高,幾乎可實(shí)現(xiàn)完全的"冷加工"。最后,通過(guò)分析總結(jié),認(rèn)為激光峰值功率密度達(dá)到1012 W/cm2可實(shí)現(xiàn)對(duì)藍(lán)寶石基片的圖形切割,且利用平均功率1 W、單脈沖能量1mJ、脈寬15ps的1064nm紅外激光,實(shí)現(xiàn)了0.55mm厚藍(lán)寶石毛坯基片的高質(zhì)量圖形切割。
【作者單位】： 北京工業(yè)大學(xué)激光工程研究院;
【關(guān)鍵詞】： 激光技術(shù) 圖形切割 微槽加工 藍(lán)寶石基片 納秒紫外激光 皮秒紅外激光
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(61144007) 市教委項(xiàng)目(KZ201510005001)
【分類號(hào)】：TQ164.2;TN249
【正文快照】： 1引言藍(lán)寶石晶體是一種集優(yōu)良的光學(xué)、物理、化學(xué)和機(jī)械性能于一體的多功能氧化物,被廣泛應(yīng)用于工業(yè)、國(guó)防和科研等領(lǐng)域[1],常用于制作光學(xué)元件、窗口材料和微機(jī)械設(shè)備等[2-3],特別是在手機(jī)產(chǎn)品上的應(yīng)用而再次備受關(guān)注。大多數(shù)應(yīng)用要求藍(lán)寶石必須有很高的加工質(zhì)量,但由于藍(lán)寶

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本文編號(hào)：595344