本文關鍵詞：355nm納秒和1064nm皮秒激光加工藍寶石研究

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【摘要】：利用波長355nm的納秒激光和1064nm的皮秒激光對藍寶石基片進行刻槽及切割實驗,通過控制變量法研究了微槽深度、寬度及質量隨工藝參數(shù)變化的情況,并進行對比分析。結果表明,355nm納秒激光加工過程存在很大的熱作用,而且刻蝕效率低,即使其峰值功率密度達到109 W/cm2也不能實現(xiàn)對藍寶石毛坯片的圖形切割;而1064nm皮秒紅外激光切割微槽的質量很高,幾乎可實現(xiàn)完全的"冷加工"。最后,通過分析總結,認為激光峰值功率密度達到1012 W/cm2可實現(xiàn)對藍寶石基片的圖形切割,且利用平均功率1 W、單脈沖能量1mJ、脈寬15ps的1064nm紅外激光,實現(xiàn)了0.55mm厚藍寶石毛坯基片的高質量圖形切割。
【作者單位】： 北京工業(yè)大學激光工程研究院;
【關鍵詞】： 激光技術 圖形切割 微槽加工 藍寶石基片 納秒紫外激光 皮秒紅外激光
【基金】：國家自然科學基金(61144007) 市教委項目(KZ201510005001)
【分類號】：TQ164.2;TN249
【正文快照】： 1引言藍寶石晶體是一種集優(yōu)良的光學、物理、化學和機械性能于一體的多功能氧化物,被廣泛應用于工業(yè)、國防和科研等領域[1],常用于制作光學元件、窗口材料和微機械設備等[2-3],特別是在手機產品上的應用而再次備受關注。大多數(shù)應用要求藍寶石必須有很高的加工質量,但由于藍寶

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1 劉天夫;皮秒光譜技術[J];物理;1990年06期

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3 張驥;李業(yè)軍;湯秀章;龔X;;皮秒超強激光的并束技術及其與物質相互作用的研究[J];中國原子能科學研究院年報;2005年00期

4 牛憨笨,王水才,趙積來,張煥文,石忠東,楊勤勞,程昭,錢建生;皮秒同步掃描相機系統(tǒng)的研究[J];高速攝影與光子學;1987年03期

5 李港;皮秒激光脈寬的寬帶測量[J];北京工業(yè)大學學報;1990年01期

6 沙偉麗;陳鉅濤;余振新;劉頌豪;;一種可同時測量皮秒和納秒量級快弛豫過程的方法[J];應用激光;1991年02期

7 晴天;;快速流逝過程光譜研究用的皮秒激光測量綜合體[J];激光與光電子學進展;1989年06期

8 ;皮秒孤子接近實用[J];激光與光電子學進展;1995年09期

9 G.Gr銉nninger;孔祥貴;;利用染料漂白測量皮秒脈沖寬度和能量[J];激光與紅外;1986年10期

10 劉洋;余錦;張雪;貊澤強;聶樹真;黃玉濤;樊仲維;陳波;;三波長同軸輸出皮秒激光精細加工系統(tǒng)的研制及其應用[J];激光與光電子學進展;2013年05期

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3 黃強;皮秒激光傳輸特性及檢測方案[D];四川大學;2005年

4 庚同雷;皮秒激光切割與打標仿真中固體材料溫度場分布的研究[D];河北工業(yè)大學;2012年

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