本文關(guān)鍵詞：退火對Mn-Co-Ni-O薄膜器件性能的影響

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【摘要】：采用磁控濺射法制備了厚度為6.5μm的Mn_(1.95)Co_(0.77)Ni_(0.28)O_4組分的薄膜材料,把材料分別在400℃,500℃,600℃,700℃,800℃下進(jìn)行后退火處理.結(jié)果表明,室溫下的負(fù)電阻溫度系數(shù)α295值隨退火溫度增加先增大后減小,而電阻率ρ_(295)則是隨退火溫度增加逐漸減小的;在相同頻率下,500℃退火樣品的歸一化噪聲譜密度(S_V·V_R/V~2)最小,700℃退火樣品的歸一化噪聲譜密度最大.退火溫度越高會(huì)造成越多的晶體缺陷,從而降低有效導(dǎo)熱系數(shù)、增大時(shí)間常數(shù)τ和器件噪聲.
【作者單位】： 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所紅外物理國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： Mn_(.)Co_(.)Ni_(.)O_薄膜 器件性能 退火溫度 探測率 響應(yīng)率
【基金】：國家自然科學(xué)基金(11204336,61274138,61275111,11304336) 上海市基金(12ZR1452200) 上海技術(shù)物理所創(chuàng)新專項(xiàng)(Q-ZY-86)~~
【分類號(hào)】：TN215
【正文快照】： PACS:68.55.-a引言熱敏紅外探測器是利用電阻率隨溫度變化的固體材料制作的一種紅外探測器.Mn-Co-Ni-O(MCNO)材料具有較小的電阻率和較大的負(fù)電阻溫度系數(shù)(NTCR)[1],且有性能穩(wěn)定、靈敏度高、長波響應(yīng)等優(yōu)點(diǎn),其室溫?zé)崦艏t外探測器已在工業(yè)和空間儀器中得到廣泛應(yīng)用[2-5].MCNO

【相似文獻(xiàn)】

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2 馮力力;柳q，

本文編號(hào)：579532