本文關(guān)鍵詞：單晶硅生長用石英坩堝的組成與結(jié)構(gòu)特征

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【摘要】：為了解國產(chǎn)單晶硅生長用石英坩堝的技術(shù)現(xiàn)狀,為石英坩堝的研究與應(yīng)用提供科學(xué)依據(jù),采用多種現(xiàn)代檢測方法,對四川某企業(yè)生產(chǎn)的石英坩堝及其高純石英原料的化學(xué)成分、物相和結(jié)構(gòu)特征進行測試分析,結(jié)果表明:單晶硅生長用石英坩堝是一種以高純石英為原料加工制備的石英玻璃功能材料;石英坩堝的透明情況和分層結(jié)構(gòu)均由內(nèi)部的氣泡引起,透明層中氣泡較少,直徑?=10μm~100μm,不透明層中復(fù)合氣泡密集且明顯大于透明層,直徑?=50μm~300μm。該企業(yè)所生產(chǎn)的石英坩堝出現(xiàn)雙層、透明單層、不透明單層等3種不同橫斷面結(jié)構(gòu),但它們的微量雜質(zhì)元素含量相似(總量為101×10~(-6)~188×10~(-6))、物相相同(非晶態(tài)的石英玻璃),其質(zhì)量還未達到國家質(zhì)量標準,一個重要原因是所用的高純石英原料13種微量雜質(zhì)元素總量為55×10~(-6),屬4N中端產(chǎn)品,與美國尤尼明4N8標準級高端產(chǎn)品還存在很大差距。
【作者單位】： 成都理工大學(xué)材料與化學(xué)化工學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 石英坩堝 石英 高純石英 石英玻璃 單晶硅
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(41572038) 國家公益性行業(yè)科研專項經(jīng)費項目課題(201011005-5) 四川省教育廳資助科研項目(16TD0011,15ZA0079)
【分類號】：TN304.12
【正文快照】： 0引言太陽能是地球上分布最廣泛、資源最豐富的可再生資源。以太陽能利用為目的光伏能源具有清潔、環(huán)保、可再生等特點,成為我國大力發(fā)展的新能源和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)之一。光伏產(chǎn)業(yè)的主導(dǎo)產(chǎn)品有晶體硅太陽能電池等,其中單晶硅電池更是憑借高轉(zhuǎn)換效率和高穩(wěn)定性,占據(jù)重要地位[1]

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本文編號：551663