本文關(guān)鍵詞：一種除去三氯氫硅中磷雜質(zhì)的新方法

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【摘要】：文章對(duì)比了目前國(guó)內(nèi)外氯硅烷除磷的主要方式;描述了一種新型除磷絡(luò)合劑的制備方法;研究了該絡(luò)合劑對(duì)三氯氫硅中的磷雜質(zhì)的吸附效果。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,使用該絡(luò)合劑除去三氯氫硅中的磷耗時(shí)短,約1~10分鐘;除磷效果高,可達(dá)95%以上。
【作者單位】： 四川瑞能硅材料有限公司技術(shù)部;
【關(guān)鍵詞】： 三氯氫硅 磷 絡(luò)合劑
【分類號(hào)】：TN304.12
【正文快照】： 目前多晶硅企業(yè)生產(chǎn)光伏材料多晶硅最廣泛的方法,是以高純?nèi)葰涔枳鰹樵?在還原爐中與氫氣在高溫硅芯表面發(fā)生還原反應(yīng),沉積形成多晶硅棒。此方法是由德國(guó)西門子公司發(fā)明,因而命名為“西門子法”[1]。三氯氫硅的純度對(duì)多晶硅的質(zhì)量起著至關(guān)重要的作用。在三氯氫硅分解沉積

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：547406