本文關(guān)鍵詞：基于DBSCAN與FSVM的半導體生產(chǎn)線成品率預測方法，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：成品率是半導體生產(chǎn)線上的關(guān)鍵性能指標,對其進行預測分析能夠有效控制芯片的生產(chǎn)成本、提高芯片質(zhì)量,而芯片缺陷問題是制約成品率水平的關(guān)鍵因素。因此,研究一種密度聚類與模糊支持向量機相融合的半導體生產(chǎn)線成品率預測方法。首先,采用密度聚類方法對晶圓缺陷聚集特性進行分析,獲取缺陷分布模式參數(shù)和密度參數(shù),作為成品率預測模型的輸入?yún)?shù);然后,針對缺陷與成品率之間存在的模糊關(guān)系,利用模糊規(guī)則并結(jié)合支持向量機方法構(gòu)建半導體生產(chǎn)線成品率預測模型;最后利用成品率預測結(jié)果對晶圓缺陷聚集特性進行定性分析,確定缺陷問題的來源,并提出相應的改善措施。通過仿真實驗表明,所提方法的預測精度優(yōu)于常用的泊松模型和二項式模型,具有更好的可行性。
【作者單位】： 北京化工大學信息科學與技術(shù)學院;吉林大學符號計算與知識工程教育部重點實驗室;清華大學自動化系;
【關(guān)鍵詞】： 半導體生產(chǎn)線 成品率 基于密度的聚類方法 模糊支持向量機
【基金】：國家自然科學基金資助項目(51375038) 高等學校博士學科點專項科研基金博導類課題資助項目(20130010110009) 北京市自然科學基金資助項目(4162046) 吉林大學符號計算與知識工程教育部重點實驗室開放課題資助項目(93K172014K05)~~
【分類號】：TN305
【正文快照】： 0引言在半導體市場需求變化快速、行業(yè)競爭白熱化的背景下,提高產(chǎn)品質(zhì)量、控制生產(chǎn)成本已成為企業(yè)能否在市場中生存的重要因素。成品率是評價半導體生產(chǎn)線產(chǎn)品質(zhì)量優(yōu)劣的關(guān)鍵指標,對其進行預測分析有助于控制芯片生產(chǎn)成本、提高芯片質(zhì)量[1]。目前,國內(nèi)外學者對成品率的預測主

  本文關(guān)鍵詞：基于DBSCAN與FSVM的半導體生產(chǎn)線成品率預測方法，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

本文編號：506926