本文關(guān)鍵詞：電子調(diào)制的激光相干法表面輪廓測量技術(shù)研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：表面輪廓的測量可以評定零件表面的光滑程度,為了實現(xiàn)高精度測量,提出了應(yīng)用電子直接調(diào)制激光束的頻率和外差相干的方法對表面輪廓進行測量。采用差動多普勒的測量原理,實現(xiàn)數(shù)字測量及光路補償;電子直接調(diào)制激光束頻率的技術(shù)減小了系統(tǒng)體積,降低了成本;光纖傳輸提高了抗干擾的能力;測量信號的跟蹤放大,提高了分辨率。通過電路調(diào)試并對產(chǎn)生誤差的項進行分析補償。實驗表明,該技術(shù)的測量不確定度小于0.1%。
【作者單位】： 山東理工大學(xué)儀器科學(xué)與技術(shù)系;
【關(guān)鍵詞】： 測量 激光技術(shù) 直接調(diào)制 外差相干法 表面輪廓
【分類號】：TN249
【正文快照】： 1引言零件的表面輪廓是加工過程中多種因素共同作用產(chǎn)生的結(jié)果[1]。傳統(tǒng)測量表面輪廓的主要方法有比較法、觸針法、光切法等[2]。這些方法存在著諸多缺點,如效率低、精度低以及適用性差等。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,具有共焦成像和干涉測量技術(shù)的三維輪廓測量儀開始應(yīng)用于生產(chǎn),如日

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 友清;以激光檢測繪制材料的表面輪廓[J];激光與光電子學(xué)進展;2000年05期

2 淦r，

本文編號：505676