本文關(guān)鍵詞：電子調(diào)制的激光相干法表面輪廓測(cè)量技術(shù)研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：表面輪廓的測(cè)量可以評(píng)定零件表面的光滑程度,為了實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量,提出了應(yīng)用電子直接調(diào)制激光束的頻率和外差相干的方法對(duì)表面輪廓進(jìn)行測(cè)量。采用差動(dòng)多普勒的測(cè)量原理,實(shí)現(xiàn)數(shù)字測(cè)量及光路補(bǔ)償;電子直接調(diào)制激光束頻率的技術(shù)減小了系統(tǒng)體積,降低了成本;光纖傳輸提高了抗干擾的能力;測(cè)量信號(hào)的跟蹤放大,提高了分辨率。通過電路調(diào)試并對(duì)產(chǎn)生誤差的項(xiàng)進(jìn)行分析補(bǔ)償。實(shí)驗(yàn)表明,該技術(shù)的測(cè)量不確定度小于0.1%。
【作者單位】： 山東理工大學(xué)儀器科學(xué)與技術(shù)系;
【關(guān)鍵詞】： 測(cè)量 激光技術(shù) 直接調(diào)制 外差相干法 表面輪廓
【分類號(hào)】：TN249
【正文快照】： 1引言零件的表面輪廓是加工過程中多種因素共同作用產(chǎn)生的結(jié)果[1]。傳統(tǒng)測(cè)量表面輪廓的主要方法有比較法、觸針法、光切法等[2]。這些方法存在著諸多缺點(diǎn),如效率低、精度低以及適用性差等。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,具有共焦成像和干涉測(cè)量技術(shù)的三維輪廓測(cè)量?jī)x開始應(yīng)用于生產(chǎn),如日

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 友清;以激光檢測(cè)繪制材料的表面輪廓[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2000年05期

2 淦r，

本文編號(hào)：505676