本文關(guān)鍵詞：多功能有源激光微調(diào)機(jī)的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：針對(duì)厚膜混合集成電路的功能微調(diào)需求,設(shè)計(jì)了一種多功能有源激光微調(diào)機(jī)。通過(guò)在線(xiàn)測(cè)量不同的產(chǎn)品參數(shù),可實(shí)現(xiàn)多功能激光微調(diào),其中包括輸出電壓修調(diào),保護(hù)電流修調(diào)和信號(hào)電路調(diào)整(調(diào)測(cè)占空比、頻率和相位)。本文重點(diǎn)介紹了多功能有源激光微調(diào)機(jī)的控制系統(tǒng),通過(guò)分析測(cè)量步長(zhǎng)和減速精度對(duì)修調(diào)精度和修調(diào)效率的影響,進(jìn)而提出了自動(dòng)修調(diào)方法中兼顧精度和效率的參數(shù)設(shè)置方法。多功能有源激光微調(diào)機(jī)很好地滿(mǎn)足了國(guó)內(nèi)厚膜混合集成電路功能微調(diào)需求。
【作者單位】： 北京奧依特科技有限責(zé)任公司;華北光電技術(shù)研究所;
【關(guān)鍵詞】： 有源激光微調(diào)機(jī) 控制系統(tǒng) 參數(shù)設(shè)置 厚膜混合集成電路
【分類(lèi)號(hào)】：TN452;TH744.5
【正文快照】： 1引言厚膜混合集成電路在微電子技術(shù)中占有重要地位,隨著厚膜混合集成電路集成度越來(lái)越高,密度變大,尺寸變小,電阻修調(diào)的要求不斷提高,而高精度、高可靠性的激光修調(diào)方法變得越來(lái)越重要,研發(fā)出功能強(qiáng)大的激光修調(diào)設(shè)備已經(jīng)十分迫切[1-2]。激光修調(diào)根據(jù)應(yīng)用方式可分為無(wú)源修調(diào)和

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