本文關(guān)鍵詞：基于RSM的單晶Si高速線鋸切割力試驗研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：采用Box-Behnken Design(BBD)設(shè)計實驗,研究高速線鋸切割過程中線鋸速度、進給速度和工件轉(zhuǎn)速三個工藝參數(shù)對單晶Si切割力的影響,通過曲面響應(yīng)法(Response surface methodology,RSM)建立單晶Si片切割力的響應(yīng)模型,并進行方差分析,獲得了高速線鋸切割單晶Si過程中不同工藝參數(shù)對切割力的影響規(guī)律和切割力最小時的工藝參數(shù)。試驗結(jié)果表明該模型能實現(xiàn)單晶Si切割過程的切割力預(yù)測。
【作者單位】： 西安理工大學(xué)機械與精密儀器工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 曲面響應(yīng)法 單晶Si 切割力
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51175442) 陜西省基金重點項目(2016JZ011) 陜西省重點實驗室項目(2014SZS10-Z01) 西安市碑林區(qū)項目(102-433415010)
【分類號】：TN305.1
【正文快照】： (Received 27 April 2016,accepted 3 June 2016)1引言單晶Si由于良好的性能廣泛應(yīng)用于光伏和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,但由于其高的硬度和脆性,使其加工過程非常困難。單晶Si片的應(yīng)用要求晶片表面無損傷、無缺陷、超平滑。切片作為加工流程的初始工序,其切割質(zhì)量對后續(xù)的加工有著重要

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1 劉福慶;王海根;;光固化非金屬線鋸絲膜基附著力測試方法[J];輕工機械;2011年05期

2 本俊之等;利用紫外線固化樹脂開發(fā)樹脂結(jié)合劑金剛石線鋸[J];珠寶科技;2004年05期

3 靳永吉;;線鋸切割失效機理的研究[J];電子工業(yè)專用設(shè)備;2006年11期

4 高玉飛;葛培琪;劉全斌;畢文波;;SiC單晶線鋸切片及電鍍鋸絲制造技術(shù)的研究進展[J];河北科技大學(xué)學(xué)報;2013年06期

5 陳博;馮硯博;;多線鋸線輥傳動機構(gòu)運動形態(tài)仿真分析[J];科技致富向?qū)?2013年15期

6 陳世杰;姚春燕;王金生;金鑫;彭偉;;不同線鋸切割過程中磨粒運動狀態(tài)試驗研究[J];新技術(shù)新工藝;2012年01期

7 徐宗華;姚春燕;彭偉;李曉佳;陳思源;;硅材線鋸切割過程中的溫度分析[J];機械設(shè)計與制造工程;2013年03期

8 王建臣;鄧小雷;王濤;;硅片多線切割的溫度場仿真研究[J];組合機床與自動化加工技術(shù);2013年09期

9 元潔,陳莉華;介紹一種線切割儀[J];物理;1988年09期

10 ;[J];;年期

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1 劉潺潺;固結(jié)磨粒雙絞合線鋸絲制造裝置設(shè)計[D];山東大學(xué);2014年

2 李海強;三絲絞合電鍍金剛石線鋸切割晶體硅的性能研究[D];河北工程大學(xué);2014年

3 孟虹辰;金剛石線鋸切割多晶硅片力學(xué)性能及其改善[D];南昌大學(xué);2014年

4 熊次遠;高效低損傷多晶硅線鋸切割液研制[D];江南大學(xué);2013年

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本文編號：452625