本文關(guān)鍵詞：基于RSM的單晶Si高速線鋸切割力試驗(yàn)研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：采用Box-Behnken Design(BBD)設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn),研究高速線鋸切割過(guò)程中線鋸速度、進(jìn)給速度和工件轉(zhuǎn)速三個(gè)工藝參數(shù)對(duì)單晶Si切割力的影響,通過(guò)曲面響應(yīng)法(Response surface methodology,RSM)建立單晶Si片切割力的響應(yīng)模型,并進(jìn)行方差分析,獲得了高速線鋸切割單晶Si過(guò)程中不同工藝參數(shù)對(duì)切割力的影響規(guī)律和切割力最小時(shí)的工藝參數(shù)。試驗(yàn)結(jié)果表明該模型能實(shí)現(xiàn)單晶Si切割過(guò)程的切割力預(yù)測(cè)。
【作者單位】： 西安理工大學(xué)機(jī)械與精密儀器工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 曲面響應(yīng)法 單晶Si 切割力
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51175442) 陜西省基金重點(diǎn)項(xiàng)目(2016JZ011) 陜西省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目(2014SZS10-Z01) 西安市碑林區(qū)項(xiàng)目(102-433415010)
【分類號(hào)】：TN305.1
【正文快照】： (Received 27 April 2016,accepted 3 June 2016)1引言單晶Si由于良好的性能廣泛應(yīng)用于光伏和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,但由于其高的硬度和脆性,使其加工過(guò)程非常困難。單晶Si片的應(yīng)用要求晶片表面無(wú)損傷、無(wú)缺陷、超平滑。切片作為加工流程的初始工序,其切割質(zhì)量對(duì)后續(xù)的加工有著重要

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本文編號(hào)：452625