本文關(guān)鍵詞：Si-Al-Sn合金熔體中塊體硅定向生長(zhǎng)行為研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：為從Si-Al-Sn合金中有效分離初晶硅,本研究提出并實(shí)現(xiàn)了三元合金定向生長(zhǎng)塊體硅的技術(shù)。通過(guò)考察冷卻速度、合金成分、溫度梯度與晶體生長(zhǎng)速度比值(G/R)等參數(shù)及其影響機(jī)制,確定促進(jìn)塊體硅穩(wěn)定生長(zhǎng)的有利條件;對(duì)比Si-Al、Si-Sn二元合金體系,采用成分過(guò)冷理論分析金屬Sn對(duì)三元合金中塊體硅生長(zhǎng)行為的影響;采用電子探針顯微分析儀考察塊體硅微觀組織形貌與雜質(zhì)分布。研究結(jié)果表明:定向凝固方法能有效分離塊體硅,同時(shí)抑制塊體硅內(nèi)金屬夾雜物生成,并將雜質(zhì)含量控制在其固溶度范圍內(nèi),成為一種有效分離、回收高純初晶硅的新途徑。
【作者單位】： 北京科技大學(xué)冶金與生態(tài)工程學(xué)院;大連理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;東京大學(xué)工學(xué)院材料工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： Si-Al-Sn合金 定向凝固 塊體硅
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51334002,51274034,51404019) 中國(guó)博士后科學(xué)基金(2015M580985)~~
【分類(lèi)號(hào)】：TN304.12
【正文快照】： 合金凝固精煉方法是一種新型的工業(yè)硅提純方法,屬于冶金法范疇。該方法利用低溫下雜質(zhì)熱力學(xué)性質(zhì)不穩(wěn)定的特點(diǎn),將硅與金屬(Al、Cu、Sn等)進(jìn)行合金化熔煉,并利用硅重結(jié)晶過(guò)程提純工業(yè)硅。該方法具有低溫精煉、高效除雜的優(yōu)異特性,成為目前該領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。在眾多合金體系中,S

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1 韓瀟;;SOI產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟發(fā)布SOI與體硅FinFETs的對(duì)比研究報(bào)告[J];半導(dǎo)體信息;2009年06期

2 陸劍俠,李正孝,張沈軍,許仲德,陶星,袁凱;抗輻射體硅CMOS工藝技術(shù)研究[J];微處理機(jī);1996年03期

3 ;[J];;年期

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