本文關(guān)鍵詞：FBAR振蕩器作為六端口反射計射頻源的BAW傳感器讀出電路，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：為解決由于FBAR的諧振頻率處于射頻頻段,導(dǎo)致BAW傳感器讀出電路難以實現(xiàn)的問題,將FBAR振蕩器作為六端口反射計射頻源,以檢測FBAR諧振頻率,從而實現(xiàn)BAW傳感器信號讀出的新型讀出電路。在ADS軟件中,通過建立FBAR的MBVD模型并采用Pierce拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)實現(xiàn)FBAR振蕩器的仿真模型,以及建立六端口反射計的仿真模型,并結(jié)合兩個仿真模型建立BAW傳感器的最小系統(tǒng)模型。BAW傳感器最小系統(tǒng)模型的仿真結(jié)果表明:由FBAR振蕩器和六端口反射計實現(xiàn)BAW傳感器讀出電路的可行性。為實驗驗證該結(jié)構(gòu),搭建一個基于微帶六端口網(wǎng)絡(luò)實物的六端口反射計實驗裝置,準(zhǔn)確地測得1個案例FBAR振蕩器的振蕩頻率為1.5 GHz,該振蕩頻率就是傳感器表頭中FBAR的諧振頻率。
【作者單位】： 中國工程物理研究院電子工程研究所;中國科學(xué)院高能物理研究所核探測與核電子學(xué)國家重點實驗室;西南科技大學(xué)信息工程學(xué)院;重慶大學(xué)新型微納器件與系統(tǒng)技術(shù)國防重點學(xué)科實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 體聲波傳感器 讀出電路 薄膜體聲波諧振器 振蕩器 六端口反射計
【基金】：國家自然科學(xué)基金(61574131) 中國工程物理研究院超精密加工技術(shù)重點實驗室基金(2014ZA001) 核探測與核電子學(xué)國家重點實驗開放課題基金(2016KF02) 西南科技大學(xué)特殊環(huán)境機(jī)器人技術(shù)四川省重點實驗室開放基金(14zxtk01)
【分類號】：TN752;TP212
【正文快照】： 3.重慶大學(xué)新型微納器件與系統(tǒng)技術(shù)國防重點學(xué)科實驗室,重慶400044;4.中國科學(xué)院高能物理研究所核探測與核電子學(xué)國家重點實驗室,北京100049)0引言體聲波(bulk acoustic wave,BAW)傳感器是由薄膜體聲波諧振器(thin-film bulk acoustic resonator,FBAR)的諧振頻率感應(yīng)待測物理

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  本文關(guān)鍵詞：FBAR振蕩器作為六端口反射計射頻源的BAW傳感器讀出電路，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

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