本文關(guān)鍵詞：一種高電場激勵效率的石英諧振元件設(shè)計，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：設(shè)計了一種諧振梁為雙"W"截面形狀的石英音叉諧振元件,通過在梁表面凹槽的兩端設(shè)置深凹槽,有效提高了凹槽側(cè)壁的陡直性,進而提高了電場的激勵效率。經(jīng)仿真對比,相對于"H"形截面的諧振元件,雙"W"形截面的諧振元件的壓電激勵力提高約58%。設(shè)計了元件芯片工藝方案,并在直徑鄜50cm的晶片上制作出兩種截面形狀的諧振元件。測試結(jié)果表明,雙"W"形截面的諧振元件的品質(zhì)因數(shù)(Q)值和導納分別由2 387、2 143ns提高至2 648、2 346ns,動態(tài)阻抗值由548kΩ降至417kΩ。
【作者單位】： 中國電子科技集團公司第二十六研究所;重慶市固態(tài)慣性技術(shù)企業(yè)工程技術(shù)研究中心;重慶市固態(tài)慣性技術(shù)工程實驗室;重慶通信學院;
【關(guān)鍵詞】： 石英 諧振器 凹槽 電場激勵效率 動態(tài)阻抗 品質(zhì)因數(shù)(Q)
【基金】：重慶市青年科技人才培養(yǎng)計劃基金資助項目(cstc2014kjrc-qnrc40003)
【分類號】：TN629.1
【正文快照】： 0引言微型諧振器作為一種輸出固定頻率的器件,廣泛應(yīng)用于多個領(lǐng)域。諧振元件是諧振器的核心元件,其尺寸大小及性能將直接決定諧振器的尺寸及性能。石英晶體材料[1]的品質(zhì)因數(shù)(Q)高、溫度穩(wěn)定性好,可采用微加工工藝加工,常作為高溫度穩(wěn)定性諧振元件的基體材料。隨著小型化趨勢

  本文關(guān)鍵詞：一種高電場激勵效率的石英諧振元件設(shè)計，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

本文編號：432341