本文關(guān)鍵詞：氮化鋁多層膜制備及其聲表面波器件性能表征，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：采用直流磁控濺射方法,在硅襯底與超納米晶金剛石襯底上沉積生長了氮化鋁(0002)擇優(yōu)取向薄膜,研究了不同襯底對氮化鋁薄膜應(yīng)力的影響,并以此氮化鋁多層膜為基礎(chǔ)通過光刻加工得到聲表面波器件,進(jìn)而對其聲學(xué)性能進(jìn)行了分析。結(jié)果表明,在硅基底上沉積的氮化鋁薄膜存在壓應(yīng)力,而在超納米晶金剛石薄膜上生長的氮化鋁薄膜表現(xiàn)出拉應(yīng)力,這可能是因?yàn)榻缑鎽?yīng)力平衡誘導(dǎo)產(chǎn)生的結(jié)果。氮化鋁多層膜聲表面波器件表現(xiàn)出較強(qiáng)的共振信號,硅襯底上聲表面波器件的頻率溫度系數(shù)為-38 ppm/℃,超納米晶金剛石夾層的引入可有效改善器件的溫度穩(wěn)定性使頻率溫度系數(shù)減小到-28 ppm/℃,同時(shí)也顯著地提高了機(jī)電耦合系數(shù)約達(dá)0.3%.
【作者單位】： 西安科技大學(xué)理學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 氮化鋁多層膜 微觀結(jié)構(gòu) 聲表面波器件 溫度穩(wěn)定性
【基金】：國家自然科學(xué)基金青年科學(xué)基金(11504291) 西安科技大學(xué)博士啟動基金(2014QDJ017);西安科技大學(xué)培育基金(201343)
【分類號】：O484.1;TN65
【正文快照】： 0引言氮化鋁薄膜因其硬度高、導(dǎo)熱性和壓電性優(yōu)異而成為一種非常重要的功能薄膜材料。相對于單晶材料(如鈮酸鋰、鉭酸鋰、石英等)的易碎、加工難度高和成本不菲的特點(diǎn),氮化鋁薄膜在高頻聲表面波器件、體聲波器件和高溫超聲波傳感器等領(lǐng)域展現(xiàn)出誘人的應(yīng)用前景。目前報(bào)導(dǎo)的氮化

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本文編號：432202