本文關(guān)鍵詞：鍺襯底表面圓柱形仿生蛾眼抗反射微結(jié)構(gòu)的研制，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：采用嚴(yán)格耦合波分析方法研究了長(zhǎng)波紅外波段鍺基底的圓柱形周期陣列仿生蛾眼抗反射微結(jié)構(gòu)的衍射特性,并進(jìn)行理論分析和模擬仿真驗(yàn)證。重點(diǎn)分析了周期、深度、占空比和整體面型輪廓等參數(shù)對(duì)微結(jié)構(gòu)抗反射特性的影響,得出具有較好抗反射效果的結(jié)構(gòu)組合參數(shù)。采用二元曝光技術(shù)和反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)在鍺基底上制備該亞波長(zhǎng)周期微結(jié)構(gòu)。通過(guò)熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡對(duì)微結(jié)構(gòu)表面形貌進(jìn)行表征,并應(yīng)用紅外成像光譜儀在長(zhǎng)波紅外波段分別對(duì)雙面拋光鍺片、單面微結(jié)構(gòu)和雙面微結(jié)構(gòu)進(jìn)行測(cè)試對(duì)比,結(jié)果顯示在8~12μm范圍內(nèi)雙面微結(jié)構(gòu)的反射率小于8%,基本達(dá)到設(shè)計(jì)要求。
【作者單位】： 長(zhǎng)春理工大學(xué)光電工程學(xué)院;華中光電技術(shù)研究所武漢光電國(guó)家實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)設(shè)計(jì) 抗反射結(jié)構(gòu) 亞波長(zhǎng)微結(jié)構(gòu) 嚴(yán)格耦合波分析 反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(61108044) 吉林省自然科研基金(20150101038JC)
【分類(lèi)號(hào)】：TN304.11
【正文快照】： 1引言鍺是一種重要的半導(dǎo)體材料,用于制造晶體管及各種電子裝置。鍺的主要終端應(yīng)用為光纖系統(tǒng)與紅外0522004-1線(xiàn)光學(xué),尤其是紅外熱成像系統(tǒng)中窗口和透鏡,也用于聚合反應(yīng)的催化劑,以及電子用途與太陽(yáng)能電力等[1-4]。由于單晶鍺的折射率(n=4.01)較大,導(dǎo)致其表面反射損失在37%以

【相似文獻(xiàn)】

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1 Farzad.(?）ourahmadi,Phillipw.Barth,Kurt Petersen,柯導(dǎo)明;硅微結(jié)構(gòu)中熱和機(jī)械應(yīng)力的模擬[J];電子器件;1990年03期

2 彭英才;半導(dǎo)體量子微結(jié)構(gòu)及其研究進(jìn)展[J];大自然探索;1993年03期

3 鞠揮;尋找微結(jié)構(gòu)的市場(chǎng)[J];光機(jī)電信息;1999年11期

4 鄭小嬋;王德苗;王文婷;周洋;;微秒脈沖激光誘導(dǎo)硅表面微結(jié)構(gòu)的研究[J];真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào);2014年06期

5 袁春華;李曉紅;唐多昌;楊宏道;李國(guó)強(qiáng);;不同氣氛下飛秒激光誘導(dǎo)硅表面微結(jié)構(gòu)[J];強(qiáng)激光與粒子束;2010年11期

6 張磊;葉輝;皇甫幼睿;詹文博;劉旭;;氧化硅襯底上高密度鍺量子點(diǎn)的微結(jié)構(gòu)研究[J];真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào);2011年06期

7 王俊;劉剛;熊瑛;郭育華;朱學(xué)林;田揚(yáng)超;;陶瓷微結(jié)構(gòu)的制作研究[J];微細(xì)加工技術(shù);2006年06期

8 曹志峰;段好偉;徐寶龍;張娟;李劍平;;ZnO花狀微結(jié)構(gòu)合成研究[J];材料導(dǎo)報(bào);2007年09期

9 閆永達(dá),孫濤,程凱,趙清亮,董申;基于AFM的微結(jié)構(gòu)加工實(shí)驗(yàn)研究[J];電子顯微學(xué)報(bào);2003年03期

10 劉盛,陶海征,趙修建,董國(guó)平;Pr~(3+)摻雜GeS_2-Ga_2S_3-NaCl玻璃的微結(jié)構(gòu)與發(fā)光屬性[J];武漢理工大學(xué)學(xué)報(bào);2005年07期

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 楊煥;激光制作綠色能源電池微結(jié)構(gòu)部件技術(shù)的研究[D];華中科技大學(xué);2015年

2 黃金國(guó);微結(jié)構(gòu)表面紅外熱輻射特性調(diào)控方法研究[D];南京理工大學(xué);2015年

3 安強(qiáng);透明光學(xué)材料中的光子導(dǎo)波微結(jié)構(gòu)：制備與特性研究[D];山東大學(xué);2014年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前5條

1 陳娜娜;高雙折射/寬帶微結(jié)構(gòu)太赫茲光纖的設(shè)計(jì)與特性研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（西安光學(xué)精密機(jī)械研究所）;2014年

2 高翻琴;ZnO微結(jié)構(gòu)的合成、表面改性及其氣敏性研究[D];太原理工大學(xué);2015年

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5 呂平;高密度封裝基板濺射薄層微結(jié)構(gòu)研究[D];復(fù)旦大學(xué);2014年

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本文編號(hào)：419398