本文關(guān)鍵詞：納米壓印技術(shù)脫模過程機理分析，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：為了減少脫模導致的產(chǎn)品缺陷,對納米壓印技術(shù)中的脫模機理進行研究�；诮缑媪W的接觸理論提出了模板和聚合物之間作用力的理論模型,利用ANSYS軟件模擬模板和聚合物的接觸分離過程。采用斷裂力學能量平衡理論,通過脫模力和脫模位移之間的關(guān)系分析脫模規(guī)律和機理。研究結(jié)果表明,脫模過程中不同位置接觸面上的作用力存在較大差異;高寬比為2和1.5時,脫模力曲線有兩個峰值,高寬比為1和0.5時,脫模力曲線有一個峰值;殘余層厚度增加,與同一脫模力相對應的脫模位移會相應增大,但不影響最大脫模力的數(shù)值。
【作者單位】： 山東科技大學土木工程與建筑學院;
【關(guān)鍵詞】： 脫模過程 機理 接觸 黏結(jié)力 脫模力 脫模位移
【基金】：山東省“泰山學者”建設(shè)工程專項資金項目(TSHW 20130956)
【分類號】：TN305.7
【正文快照】： 納米壓印技術(shù)[1](nano-imprint lithography,NIL)是目前國際上普遍關(guān)注的一種全新的微納米結(jié)構(gòu)制造技術(shù),因其有低成本、高效率等優(yōu)點而被看作是最具有工業(yè)化應用前景的微納米結(jié)構(gòu)制造方法之一。由于該技術(shù)采用宏觀技術(shù)手法對物體微觀領(lǐng)域進行改造,很難避免產(chǎn)品制造過程中出現(xiàn)

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 段智勇;羅康;;電磁輔助納米壓印[J];電子工藝技術(shù);2010年03期

2 王金合;費立誠;宋志棠;張靜;周為民;張劍平;;納米壓印技術(shù)的最新進展[J];微納電子技術(shù);2010年12期

3 葉舟;朱軍;;納米壓印抗粘性技術(shù)研究進展(英文)[J];壓電與聲光;2011年01期

4 李朝朝;蘭紅波;;滾型納米壓印工藝的研究進展和技術(shù)挑戰(zhàn)[J];青島理工大學學報;2013年03期

5 邢飛;廖進昆;楊曉軍;唐雄貴;段毅;;納米壓印技術(shù)的研究進展[J];激光雜志;2013年03期

6 羅康;劉林飛;段智勇;;基于壓縮氣體施壓的納米壓印技術(shù)研究[J];電子世界;2013年14期

7 張亞軍,段玉剛,盧秉恒,王權(quán)岱;納米壓印光刻中模版與基片的平行調(diào)整方法[J];微細加工技術(shù);2005年02期

8 范東升,謝常青,陳大鵬;納米壓印光刻模版制作技術(shù)[J];電子工業(yè)專用設(shè)備;2005年02期

9 劉紅忠;丁玉成;盧秉恒;王莉;邱志惠;;納米壓印光刻中的多步定位研究[J];西安交通大學學報;2006年03期

10 司衛(wèi)華;董曉文;顧文琪;;納米壓印技術(shù)的工藝和圖形精度研究[J];半導體光電;2006年04期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 趙小力;董申;;納米壓印技術(shù)及其應用[A];全球化、信息化、綠色化提升中國制造業(yè)——2003年中國機械工程學會年會論文集（微納制造技術(shù)應用專題）[C];2003年

2 范細秋;張鴻海;胡曉峰;賈可;劉勝;;寬范圍高對準精度納米壓印樣機的研制[A];中國微米、納米技術(shù)第七屆學術(shù)會年會論文集（一）[C];2005年

3 石剛;呂男;;基于納米壓印技術(shù)構(gòu)筑導電聚合物納米線[A];中國化學會第28屆學術(shù)年會第15分會場摘要集[C];2012年

4 董曉文;司衛(wèi)華;顧文琪;;納米壓印光刻技術(shù)及其設(shè)備研制[A];中國微米、納米技術(shù)第七屆學術(shù)會年會論文集（一）[C];2005年

5 石剛;呂男;;納米壓印技術(shù)在導電聚合物中的應用[A];中國化學會第28屆學術(shù)年會第4分會場摘要集[C];2012年

6 范細秋;張鴻海;汪學方;賈可;劉勝;;納米壓印光刻技術(shù)[A];2004全國光學與光電子學學術(shù)研討會、2005全國光學與光電子學學術(shù)研討會、廣西光學學會成立20周年年會論文集[C];2005年

7 林宏;萬霞;姜學松;王慶康;印杰;;基于硫醇點擊化學的新型紫外納米壓印膠[A];2011年全國高分子學術(shù)論文報告會論文摘要集[C];2011年

8 王普天;王慧慧;魏杰;;MWNT/Ag/UV樹脂納米壓印復合材料的研究[A];2009年全國高分子學術(shù)論文報告會論文摘要集（上冊）[C];2009年

9 程照溪;陳昕;陳相仲;沈群東;;鐵電高分子拉伸和納米壓印中的結(jié)構(gòu)演變和性能研究[A];中國化學會第28屆學術(shù)年會第7分會場摘要集[C];2012年

10 王旭迪;付紹軍;;利用UVN-30光刻膠制作高線密度納米壓印模板[A];中國真空學會2006年學術(shù)會議論文摘要集[C];2006年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前4條

1 盧慶儒;納米壓印技術(shù)趨近實用化[N];電子資訊時報;2007年

2 文月;三星用納米壓印技術(shù)制造閃存[N];電子資訊時報;2008年

3 尹暉;市領(lǐng)導會見美國國家工程院院士[N];無錫日報;2009年

4 陳超;日開發(fā)低成本納米壓印刻蝕裝置[N];科技日報;2002年

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 胡昕;新型納米壓印材料的研究[D];南京大學;2014年

2 周雷;仿生蛾眼結(jié)構(gòu)有機光電器件的光調(diào)控研究[D];蘇州大學;2015年

3 陳鑫;納米壓印工藝及其在光電子芯片中的應用研究[D];華中科技大學;2015年

4 高立國;納米壓印在制備雙色發(fā)光圖案及負折射系數(shù)材料中的應用[D];吉林大學;2011年

5 劉彥伯;納米壓印復型精度控制研究[D];同濟大學;2006年

6 袁長勝;多功能納米壓印機的研制及其在自支撐光柵制備中的應用[D];南京大學;2011年

7 孫堂友;基于納米壓印技術(shù)表面二維納米增透結(jié)構(gòu)的研究[D];華中科技大學;2014年

8 沈臻魁;納米壓印技術(shù)在鐵電薄膜材料上的應用[D];復旦大學;2013年

9 董會杰;納米壓印用聚合物體系的創(chuàng)制與性能的研究[D];華東理工大學;2011年

10 孟凡濤;納米光刻技術(shù)及其在三端結(jié)器件和納米光柵偏振器中的應用[D];大連理工大學;2011年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 張繼宗;陽離子型納米壓印膠與復合納米壓印模板的研究[D];南京大學;2012年

2 崔巖;基于電滲驅(qū)動納米壓印技術(shù)研究[D];青島理工大學;2015年

3 畢洪峰;整片晶圓納米壓印關(guān)鍵技術(shù)的研究[D];青島理工大學;2015年

4 陳曦;大孔間距有序PM模板及有序鋁襯底的制備[D];南京理工大學;2015年

5 李冬雪;納米壓印脫模坍塌及掩模板拓撲結(jié)構(gòu)圖形轉(zhuǎn)移影響研究[D];鄭州大學;2015年

6 劉聰;基于納米壓印技術(shù)的光柵制備[D];哈爾濱工業(yè)大學;2015年

7 季敏;柔性襯底微納結(jié)構(gòu)制備與性能研究[D];南京大學;2014年

8 傅欣欣;納米壓印工藝及模板制備的研究[D];南京大學;2014年

9 張富饒;帶形納米壓印光刻機的研究與開發(fā)[D];青島理工大學;2015年

10 渠葉君;基于納米壓印刻蝕Si-PIN探測器的仿真研究[D];電子科技大學;2015年

  本文關(guān)鍵詞：納米壓印技術(shù)脫模過程機理分析，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

本文編號：415076