本文關(guān)鍵詞：大功率半導(dǎo)體激光器腔面鈍化工藝研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：隨著科技的發(fā)展,對高功率半導(dǎo)體激光器的需求變得越來越大,因此研究它的可靠性和提高它的輸出功率就顯得非常重要。研究表明,腔面退化是激光器產(chǎn)生退化的主要原因,特別是以GaAs為基礎(chǔ)的含Al的高功率半導(dǎo)體激光器的腔面退化更為嚴(yán)重。所以,本論文從腔面退化機(jī)理展開,以808nm GaAs/AlGaAs高功率半導(dǎo)體激光器做為研究對象,提出了可以改善激光器腔面退化問題的方案,即腔面鈍化的工藝,從而提高激光器的輸出功率和可靠性。 本論文首先研究分析了Ⅲ-Ⅴ族化合物半導(dǎo)體材料的表面性質(zhì),指出表面態(tài)引起的非輻射復(fù)合是GaAs/AlGaAs激光器腔面發(fā)生光學(xué)災(zāi)變損傷的主要原因。 在激光器腔面鈍化工藝的研究方面,本論文深入研究了含硫溶液的濕法鈍化及硫化氫和氬混合等離子體的干法鈍化工藝。在激光器腔面鍍膜工藝方面,研究了高反射膜和增透膜的工藝。 總之,本論文通過對激光器腔面的鈍化工藝技術(shù)的研究,進(jìn)一步提高了激光器的穩(wěn)定性和COD的閾值,為激光器在高功率和高溫條件下的應(yīng)用提供了保證。
【關(guān)鍵詞】：半導(dǎo)體激光器 鈍化 等離子體
【學(xué)位授予單位】：長春理工大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2011
【分類號】：TN248.4
【目錄】：

• 摘要4-5
• ABSTRACT5-6
• 目錄6-7
• 第一章 緒論7-18
• 1.1 引言7-10
• 1.2 高功率半導(dǎo)體激光器的發(fā)展?fàn)顩r和可靠性研究現(xiàn)狀分析10-17
• 1.3 論文研究的主要內(nèi)容17-18
• 第二章 激光器腔面的表面態(tài)的分析研究18-38
• 2.1 表面態(tài)的由來和意義18-23
• 2.2 表面分析技術(shù)的研究23-30
• 2.3 表面態(tài)在激光器退化中的所起的作用30-32
• 2.4 表面鈍化的概念32
• 2.5 化合物半導(dǎo)體表面鈍化的方法介紹32-38
• 第三章 激光器腔面鈍化工藝的分析研究38-54
• 3.1 含硫溶液的濕法鈍化方法38-40
• 3.2 硫化氫+氬氣等離子體干法鈍化的方法研究40-50
• 3.3 干法鈍化和濕法鈍化方法的效果的比較50-54
• 第四章 半導(dǎo)體激光器腔面的鍍膜工藝54-65
• 4.1 激光器腔面鍍膜的設(shè)計54-56
• 4.2 高功率半導(dǎo)體激光器腔面反射率的優(yōu)化56-58
• 4.3 高反射膜的制備58-60
• 4.4 增透膜的制備60-63
• 4.5 激光器腔面鈍化工藝的比較63-65
• 結(jié)論65-67
• 致謝67-68
• 參考文獻(xiàn)68-70

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9 屈萬成;黃W，

本文編號：405566