為有效提升氮化鎵基藍光發(fā)光二極管的發(fā)光效率,構(gòu)建一種基于表面等離激元的復(fù)合光柵氮化鎵基發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)模型。通過對表面等離激元的激發(fā)方式與發(fā)光二極管內(nèi)、外量子效率的理論分析,詳細闡述該結(jié)構(gòu)增強發(fā)光二極管發(fā)光效率的原理;同時討論了該模型的制作工藝,并運用有限元分析法,對結(jié)構(gòu)進行參數(shù)優(yōu)化和仿真分析,得到該結(jié)構(gòu)在最優(yōu)參數(shù)下的輻射功率、吸收功率以及電場分布圖。仿真結(jié)果表明,經(jīng)參數(shù)優(yōu)化后,當復(fù)合光柵發(fā)光二極管發(fā)射光的波長為460 nm時,其輻射到空氣中的平均電場模約為單光柵發(fā)光二極管的38倍,驗證了該結(jié)構(gòu)可以有效提升二極管的發(fā)光效率。

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【文章目錄】：
1 引言
2 理論分析與結(jié)構(gòu)設(shè)計
    2.1 理論分析
    2.2 復(fù)合光柵LED結(jié)構(gòu)模型
3 仿真與分析
    3.1 仿真參數(shù)設(shè)置
    3.2 Ag光柵參數(shù)優(yōu)化
    3.3 P-GaN層參數(shù)優(yōu)化
    3.4 Si O2過渡層參數(shù)優(yōu)化
    3.5 ITO緩沖層參數(shù)優(yōu)化
    3.6 光柵結(jié)構(gòu)對比分析
4 結(jié)論



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