高深徑比通孔電鍍銅的添加劑優(yōu)化
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【部分圖文】:
圖1通孔電鍍能力表征示意圖
將電鍍后的測(cè)試板切片、研磨、拋光和微蝕,采用基恩士VHX-950F超景深三維顯微鏡觀察橫截面和測(cè)量不同部位的鍍層厚度。如圖1所示,按式(1)-(3)計(jì)算平均面銅厚度δf和通孔深鍍能力TP[13-14]。其中,a、b、c、d都是鍍層的面銅厚度,δf為平均面銅厚度;e、f、g、h、m....
圖2通孔在不含(a)和含有0.1g/LSDBS(b)的鍍液中電鍍后的外觀
從圖2可知,基礎(chǔ)鍍液中只加入1mg/LSPS、200mg/LPEG、50mg/LCl-和4mg/L2-PDS時(shí),測(cè)試板電鍍1h后其通孔周邊均出現(xiàn)類似水滴狀的凹陷,鍍層不均勻。加入0.1g/LSDBS后,鍍層表面變得均勻,無明顯的凹陷。進(jìn)一步采用掃描電鏡觀察孔....
圖3通孔在不含(a)和含有0.1g/LSDBS(b)的鍍液中電鍍后的微觀形貌
進(jìn)一步采用掃描電鏡觀察孔口周邊鍍層的微觀形貌,結(jié)果見圖3?梢姡円褐袩oSDBS時(shí)孔口周邊的鍍層嚴(yán)重不均勻,產(chǎn)生嚴(yán)重的凹坑,沿空氣泡流動(dòng)方向的鍍層厚度幾乎都比周邊鍍層薄,且鍍層較薄處有明顯的顆粒產(chǎn)生,這可能是因?yàn)殄円涸陉帢O的表面張力過大,或鍍液中陰極析氫副反應(yīng)嚴(yán)重,生成的氫氣作為....
圖4正交試驗(yàn)中各試驗(yàn)組的深鍍能力和面銅厚度
固定鍍液中CuSO4·5H2O為75g/L,濃硫酸為230g/L,以及SDBS為0.1g/L不變,以添加劑SPS、PEG-10000、Cl-和2-PDS的質(zhì)量濃度為因素,面銅厚和深鍍能力為指標(biāo),按L9(43)正交表對(duì)鍍液添加劑進(jìn)行優(yōu)化,結(jié)果見表1、圖4和圖5。圖5在不同電....
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