發(fā)布時(shí)間：2024-05-20 03:25

　　熔石英元件是一種典型的硬脆性且難加工的材料,在傳統(tǒng)機(jī)械加工中的加工效率極低,并且加工過程中引入的機(jī)械弱化層,嚴(yán)重影響了熔石英元件在強(qiáng)沖擊、高載荷、高能量環(huán)境下的使用壽命。和傳統(tǒng)機(jī)械加工方法相比,CO₂激光加工技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)在于可實(shí)現(xiàn)非接觸式加工,并且去除精度高和去除效率高。尤其重要的是,CO₂激光加工后的熔石英光學(xué)元件無表面/亞表面裂紋、劃痕等缺陷,使得CO₂激光加工技術(shù)在熔石英元件的加工中得到了重要且廣泛的應(yīng)用。因此,從熔石英元件的CO₂激光加工理論、大口徑器件CO₂激光加工工藝、局部區(qū)域CO₂激光損傷修復(fù),以及表面微結(jié)構(gòu)加工4個(gè)方面出發(fā),對熔石英光學(xué)元件的CO₂激光加工技術(shù)研究現(xiàn)狀進(jìn)行綜述,重點(diǎn)分析了CO₂激光加工技術(shù)在熔石英元件大口徑器件/局部區(qū)域加工的工藝水平現(xiàn)狀以及微結(jié)構(gòu)加工的應(yīng)用現(xiàn)狀,并探討了CO₂激光加工過程中引入的負(fù)面效應(yīng)以及仍需解決的問題,希望為推動CO₂...

【文章頁數(shù)】：17 頁

【文章目錄】：
0前言
1 熔石英元件的CO2激光加工理論
    1.1 表面溫度場分布
    1.2 表面融熔流動
    1.3 表面蒸發(fā)去除
2 熔石英元件的大口徑器件加工工藝
    2.1 激光成形
    2.2 激光融熔
    2.3 激光修形
3 熔石英元件的局部區(qū)域損傷修復(fù)
    3.1 材料改性
    3.2 局部區(qū)域點(diǎn)損傷修復(fù)
    3.3 局部區(qū)域劃痕損傷修復(fù)
    3.4 局部區(qū)域損傷增材修復(fù)
4 熔石英元件的表面微結(jié)構(gòu)加工
    4.1 微流體通道加工
    4.2 微陣列透鏡加工
    4.3 錐透鏡加工
    4.4 光纖結(jié)構(gòu)加工
    4.5 全息結(jié)構(gòu)加工
    4.6 周期性表面結(jié)構(gòu)加工
5 結(jié)論



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