近年來,隨著各類新興技術(shù)對(duì)半導(dǎo)體的需求不斷增長,半導(dǎo)體戰(zhàn)略地位越來越重要。但是我國半導(dǎo)體行業(yè)的整體制造水平相對(duì)落后,自給率僅在10%左右。同時(shí),由于半導(dǎo)體制造過程具有工藝復(fù)雜,可重入性的特點(diǎn),傳統(tǒng)的人工排程遠(yuǎn)不能達(dá)到生產(chǎn)要求。因此運(yùn)用信息化手段,從制造過程信息化、生產(chǎn)調(diào)度優(yōu)化等方面提升半導(dǎo)體企業(yè)的制造水平,是當(dāng)今半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的一個(gè)重要研究方向。針對(duì)半導(dǎo)體制造企業(yè)存在的問題,以提升企業(yè)的制造水平為目標(biāo),本文以半導(dǎo)體“圖案成型”生產(chǎn)系統(tǒng)為研究對(duì)象,研究了面向半導(dǎo)體的制造執(zhí)行系統(tǒng),并具體對(duì)生產(chǎn)排程與調(diào)度相應(yīng)關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了研究,最后開發(fā)了制造執(zhí)行系統(tǒng)中生產(chǎn)排程與調(diào)度板塊的原型系統(tǒng)。首先,本文在完成制造執(zhí)行系統(tǒng)的功能需求分析后,從體系架構(gòu)和功能模塊兩方面對(duì)制造執(zhí)行系統(tǒng)的總體方案進(jìn)行了設(shè)計(jì)。然后,本文面向半導(dǎo)體“圖案成型”生產(chǎn)系統(tǒng),結(jié)合工藝流程、設(shè)備資源及布局特點(diǎn),采用分層與面向?qū)ο蠼Y(jié)合的Petri網(wǎng)建模方式,對(duì)生產(chǎn)線進(jìn)行建模,將該可重入生產(chǎn)系統(tǒng)按照系統(tǒng)層、加工區(qū)域?qū)�、設(shè)備組層及設(shè)備層分為四個(gè)子網(wǎng),其內(nèi)的固定資源按照資源屬性分別建立子模型。在此基礎(chǔ)上,采用Petri網(wǎng)結(jié)合多代理系統(tǒng)的啟發(fā)式指派的...

【文章頁數(shù)】：89 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖１．１可重入生產(chǎn)系統(tǒng)示意圖??（１）該系統(tǒng)一般包含一至多種產(chǎn)品，每種產(chǎn)品都有自己的固定生產(chǎn)路徑，并且沿著??

碩士學(xué)位論文?半導(dǎo)體芯片制造車間制造執(zhí)行系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究與開發(fā)??昂，也缺乏當(dāng)?shù)丶夹g(shù)人員的技術(shù)支持，很難靈活地實(shí)現(xiàn)功能客戶化，故而大規(guī)模投入存??在困難。??本文以制造執(zhí)行系統(tǒng)為工具，結(jié)合半導(dǎo)體制造系統(tǒng)模型建立與調(diào)度優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)??體制造系統(tǒng)的生產(chǎn)效益提升，具有廣闊的應(yīng)用前景和....

圖1}企業(yè)集成模型

１緒論碩士學(xué)位論文??生產(chǎn)計(jì)劃控制，控制層面向?qū)崟r(shí)的現(xiàn)場(chǎng)控制，而ＭＥＳ處于二者中間，在計(jì)劃層的長期??計(jì)劃指導(dǎo)下，根據(jù)底層控制系統(tǒng)采集的與生產(chǎn)有關(guān)的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，進(jìn)行短期生產(chǎn)作業(yè)的計(jì)??劃調(diào)度、監(jiān)控、資源配置和生產(chǎn)過程的優(yōu)化等工作，并向控制層發(fā)送實(shí)時(shí)指令，解決近??期生產(chǎn)任務(wù)的協(xié)調(diào)安....

圖１．４計(jì)劃、控制、執(zhí)行信息流模型??半導(dǎo)體行業(yè)制造執(zhí)行系統(tǒng)（ＭＥＳ）解決方案主要可以分為三類，由軟件供應(yīng)商開發(fā)，??由企業(yè)自行開發(fā)，以及企業(yè)與高校合作開發(fā)

??圖１．３企業(yè)集成模型???生產(chǎn)了什么???操作結(jié)來???｜??操作狀態(tài)??＾?ｆ生產(chǎn)了什么？如何生產(chǎn)？?｜??ＭＲＰ?ＩＩ／ＥＲＰ要生產(chǎn)什￥？?ＭＥＳ?丨生產(chǎn)方法ｆ?控制層??時(shí)間因子＝ｌ〇〇ｘ?時(shí)間因子＝ｌ〇ｘ?時(shí)間因子??ｉ?Ｌ?ｉ?ｉ??生產(chǎn)方法?生產(chǎn)結(jié)果?設(shè)備拎?輸入....

圖１．７ＦＡＢ３００軟件架構(gòu)及流程編輯器??ＬＥＡＮ?ＭＥＳ?｜??

?以變蹤?叫驗(yàn)測(cè)管管管ｓｏ：常ｇ?臺(tái)ｇ管信ｆＳ信規(guī)流倌??３１?ｌｉｒｒｉＴｒｌ?卜丨網(wǎng)?ｌｌｊｆｆｌｊｕｊｉｉｌ?ｊｌｌｌｕ?ｄｌｌＪｕＬｊｌＩＳｌ??圖１．８蘭光ＭＥＳ功能樹??企業(yè)自身及高校也紛紛對(duì)制造執(zhí)行系統(tǒng)的信息架構(gòu)、功能模型進(jìn)行相應(yīng)研宄，同樣??涌現(xiàn)出不少成果。同濟(jì)大....

本文編號(hào)：3963675