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移動(dòng)X射線光刻制備等腰三角形結(jié)構(gòu)的PMMA微通道

發(fā)布時(shí)間:2024-04-18 01:02
  利用移動(dòng)X射線光刻工藝,制備了六種不同深寬比的等腰三角形結(jié)構(gòu)的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微通道;诿(xì)管原理,將PMMA微通道與老鼠血液接觸,對(duì)血液進(jìn)行了微量采集。該P(yáng)MMA微通道是中間帶有凹槽結(jié)構(gòu)的等腰三角形結(jié)構(gòu),凹槽結(jié)構(gòu)的寬度為10μm、長(zhǎng)度為6.7~39.4μm。將32個(gè)高度為35 mm的PMMA微通道的基板垂直插入老鼠血液樣品中,通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)定了六種不同等腰三角形結(jié)構(gòu)的PMMA微通道的接觸角、表面張力及血液上升高度。結(jié)果表明,在一定范圍內(nèi),PMMA微通道的深寬比越大,血液上升越容易,液體提取量也越多。對(duì)于通道橫截面長(zhǎng)度為39.4μm的微通道,樣品血液在15 s時(shí)的上升高度可達(dá)到20.45 mm,達(dá)到最終30 s時(shí)上升高度的89.9%以上。

【文章頁(yè)數(shù)】:7 頁(yè)

【部分圖文】:

圖1微通道尺寸和一排32個(gè)等腰三角形的掩膜版

圖1微通道尺寸和一排32個(gè)等腰三角形的掩膜版

PMMA微通道是利用LIGA工藝制備的[16],該通道橫截面寬度約10μm,凹槽長(zhǎng)度L為6.7~39.4μm,其中單個(gè)掩膜版圖案底邊長(zhǎng)為100μm,32個(gè)圖案以300μm的間距排成一行,圖1表示了相鄰兩個(gè)X射線掩膜圖案的尺寸以及連續(xù)32個(gè)X射線吸收體圖形組成的掩膜版。本實(shí)驗(yàn)共制備....


圖2微通道的制備流程及橫截面圖像

圖2微通道的制備流程及橫截面圖像

在顯影過(guò)程之前,需要按體積分?jǐn)?shù)配制顯影液、顯影停止液和沖洗液。按體積分?jǐn)?shù)分別為60%的2-(2-丁氧基-乙氧基)乙醇(2-(2-butoxyethoxy)ethanol)、20%的四氫-1,4-惡嗪(tetrahydro-14-oxazine)、5%的2-氨基乙醇-1(2-ami....


圖5樣品2~6的上升結(jié)果和平均上升高度

圖5樣品2~6的上升結(jié)果和平均上升高度

將樣品6(即32個(gè)底面橫截面寬度為9.9μm、長(zhǎng)度為39.4μm的PMMA微通道)垂直插入老鼠血液中,靜置30s后,血液上升20.5mm,如圖4所示。值得注意的是,PMMA微通道的垂直高度是由X射線曝光窗口沿著掃描方向的移動(dòng)距離決定的,曝光窗口長(zhǎng)50mm、寬3.5mm,由....


圖4利用毛細(xì)管原理血液在微通道中的上升情況

圖4利用毛細(xì)管原理血液在微通道中的上升情況

圖6(a)和(b)分別反映了各種樣品在不同深寬比的情況下毛細(xì)管液面平均上升高度和平均上升速度的變化。由于采血量是衡量采血設(shè)備的指標(biāo),因此圖6(c)反映了在不同深寬比的情況下毛細(xì)管采血量的變化。從圖6(a)和(b)可得,當(dāng)橫截面寬度為9.9μm時(shí),深寬比與平均上升高度、平均上升速度....



本文編號(hào):3957184

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