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SOI基柵控橫向PIN藍(lán)紫光探測(cè)器的理論建模與工藝研究

發(fā)布時(shí)間:2024-03-31 16:45
  根據(jù)瑞利散射,大氣對(duì)光波的散射強(qiáng)度與波長(zhǎng)的四次方成反比,對(duì)于可見(jiàn)光中的長(zhǎng)波光與近紅外光而言,其偏振性較差。藍(lán)紫光波段(380~520 nm)的波長(zhǎng)較短,偏振性較強(qiáng),更適合光電探測(cè)器檢測(cè)。目前,藍(lán)紫光探測(cè)器通常為單獨(dú)場(chǎng)效應(yīng)型或單獨(dú)雙極型二極管,其各自的優(yōu)缺點(diǎn),量子效率與頻率特性二者相互制約,不利于集成。本文基于SOI基透明電極柵控橫向PIN光電二極管(SOI LPIN PD-GTE)進(jìn)行了以下主要幾個(gè)方面的研究。1.基于泊松方程,建立了器件柵極電壓的解析模型,通過(guò)MATLAB對(duì)解析模型進(jìn)行了數(shù)值計(jì)算,并與仿真結(jié)果相對(duì)比,驗(yàn)證模型的有效性。得出溝道表面弱反型的柵極電壓為0.2145V,溝道表面強(qiáng)反型的柵壓為0.5105V。2.基于電流密度方程和電流連續(xù)性方程,構(gòu)建了器件的暗電流解析模型以及在入射光功率為1mW/cm2時(shí)光電流的解析模型,利用MATLAB對(duì)光電流與暗電流的解析模型進(jìn)行數(shù)值計(jì)算,通過(guò)仿真結(jié)果與計(jì)算結(jié)果的對(duì)比,光電流與暗電流數(shù)值計(jì)算與模擬仿真結(jié)果變化趨勢(shì)一致,擬合度較好,驗(yàn)證了解析模型的有效性。并對(duì)光暗電流比進(jìn)行研究,得出信噪比(SNR)最優(yōu)化時(shí)的柵壓值為1.7V。3.利用SIL...

【文章頁(yè)數(shù)】:67 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】:碩士

【部分圖文】:

圖5.2柵極電計(jì)算結(jié)果??

圖5.2柵極電計(jì)算結(jié)果??

?碩士學(xué)位論文???3.4.1柵極電壓??在常溫下(7=300/0,由得費(fèi)米勢(shì)^〇.29F。當(dāng)表面弱反型,即表面??勢(shì)等于一倍費(fèi)米勢(shì),%/^/=〇.29V時(shí),由式3.12計(jì)算得,Fm=0.2145V。當(dāng)表面強(qiáng)反型,??即勢(shì)等于兩倍費(fèi)米勢(shì),^s/^2^;=0.58V時(shí),由式3.12....


圖3.3柵極電壓Ka仿真結(jié)果??

圖3.3柵極電壓Ka仿真結(jié)果??

當(dāng)Fg;H).2145V時(shí),表面弱反型,電子濃度與空穴濃度相等,n=p=n,;當(dāng)K<^=0.511V??時(shí),表面強(qiáng)反型,電子濃度與摻雜濃度相等,《=從<。當(dāng)表面弱反型和強(qiáng)反型時(shí)計(jì)算結(jié)果??如圖3.2所示。??10、??%?(^)?1〇'sj??ny?(c>n)??1??Py?加、....


圖3.4暗電流仿真結(jié)果

圖3.4暗電流仿真結(jié)果

&^/=〇.29V時(shí),Fm=0.227V。當(dāng)表面強(qiáng)反型,即勢(shì)等于兩倍費(fèi)米勢(shì),%/=2w=0.58V時(shí),??化尤=0.545V。??由圖3.2與圖3.3可知,計(jì)算結(jié)果與仿真結(jié)果擬合很好,有效的驗(yàn)證了柵極電壓解??析模型的正確性。??3.4.2暗電流??當(dāng)沒(méi)有光照時(shí),溝道內(nèi)由于載流子....


圖3.6光電流仿真結(jié)果

圖3.6光電流仿真結(jié)果

a=105/cm,單位面積的入射光功率為P,?=lm?7ew2。采用SILVACO軟件的ATLAS模塊,??對(duì)器件進(jìn)行模擬仿真,得出器件在柵壓從0增加到2V時(shí)的光電流變化曲線,結(jié)果如圖??3.6所示。根據(jù)式(3.65),利用MATLAB對(duì)模型進(jìn)行計(jì)算,計(jì)算結(jié)果如圖3.7所示。??....



本文編號(hào):3944220

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