SOI基柵控橫向PIN藍(lán)紫光探測(cè)器的理論建模與工藝研究
【文章頁(yè)數(shù)】:67 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
圖5.2柵極電計(jì)算結(jié)果??
?碩士學(xué)位論文???3.4.1柵極電壓??在常溫下(7=300/0,由得費(fèi)米勢(shì)^〇.29F。當(dāng)表面弱反型,即表面??勢(shì)等于一倍費(fèi)米勢(shì),%/^/=〇.29V時(shí),由式3.12計(jì)算得,Fm=0.2145V。當(dāng)表面強(qiáng)反型,??即勢(shì)等于兩倍費(fèi)米勢(shì),^s/^2^;=0.58V時(shí),由式3.12....
圖3.3柵極電壓Ka仿真結(jié)果??
當(dāng)Fg;H).2145V時(shí),表面弱反型,電子濃度與空穴濃度相等,n=p=n,;當(dāng)K<^=0.511V??時(shí),表面強(qiáng)反型,電子濃度與摻雜濃度相等,《=從<。當(dāng)表面弱反型和強(qiáng)反型時(shí)計(jì)算結(jié)果??如圖3.2所示。??10、??%?(^)?1〇'sj??ny?(c>n)??1??Py?加、....
圖3.4暗電流仿真結(jié)果
&^/=〇.29V時(shí),Fm=0.227V。當(dāng)表面強(qiáng)反型,即勢(shì)等于兩倍費(fèi)米勢(shì),%/=2w=0.58V時(shí),??化尤=0.545V。??由圖3.2與圖3.3可知,計(jì)算結(jié)果與仿真結(jié)果擬合很好,有效的驗(yàn)證了柵極電壓解??析模型的正確性。??3.4.2暗電流??當(dāng)沒(méi)有光照時(shí),溝道內(nèi)由于載流子....
圖3.6光電流仿真結(jié)果
a=105/cm,單位面積的入射光功率為P,?=lm?7ew2。采用SILVACO軟件的ATLAS模塊,??對(duì)器件進(jìn)行模擬仿真,得出器件在柵壓從0增加到2V時(shí)的光電流變化曲線,結(jié)果如圖??3.6所示。根據(jù)式(3.65),利用MATLAB對(duì)模型進(jìn)行計(jì)算,計(jì)算結(jié)果如圖3.7所示。??....
本文編號(hào):3944220
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