該文介紹了一種頻率溫度系數(shù)接近0的窄帶溫補(bǔ)型聲表面波濾波器。該濾波器采用黑化的42°Y-X鉭酸鋰為襯底,溫度補(bǔ)償層材料采用二氧化硅薄膜,利用化學(xué)機(jī)械拋光二氧化硅薄膜法獲得了平坦表面形貌。制作了溫補(bǔ)型聲表面波濾波器樣品并進(jìn)行了測試。測試結(jié)果表明,該溫補(bǔ)型聲表面波濾波器的中心頻率約1 360 MHz,在-55～85℃內(nèi)頻率漂移僅約390 kHz,頻率溫度系數(shù)約-2×10^-6/℃,插入損耗約1.3 dB。

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圖3短路柵的TCF計(jì)算結(jié)果

圖1理論計(jì)算采用的TCSAW剖面結(jié)構(gòu)

圖2TCV計(jì)算結(jié)果

圖4振子版圖

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