針對MEMS流速傳感器量程小及無法應用于曲面的不足,設計制造了一種柔性MEMS流速傳感器,其結構主要包含加熱電阻和3對測溫熱電阻,同時結合熱損失和熱溫差工作原理來實現(xiàn)寬量程的流速測量。設計了帶溫度補償?shù)碾p惠斯登電橋測控電路,利用STM32微處理器ADC模塊對多路流速測量結果進行采樣。測試實驗實現(xiàn)了0～32 m/s的輸入風速測量,其中在1 m/s以下的低風速段內(nèi)傳感器具有100 m V/(m·s^-1)的較高靈敏度,在風速(1～7 m/s)和(7～32 m/s)下的靈敏度分別為83.1 m V/(m·s^-1)和28.3 m V/(m·s^-1)。該柔性MEMS流速傳感器可貼于曲面應用,測量范圍大、精度高。

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【文章目錄】：
0 引言
1 寬量程柔性流速傳感器的結構
2 柔性流速傳感器的測控電路設計
    2.1 帶溫度補償?shù)臏y控電路設計
    2.2 傳感器的多路數(shù)字輸出電路系統(tǒng)
3 柔性流速傳感器的測速實驗及結果分析
    3.1 風速測量實驗
    3.2 實驗結果及分析
4 結束語



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