針對MEMS流速傳感器量程小及無法應(yīng)用于曲面的不足,設(shè)計(jì)制造了一種柔性MEMS流速傳感器,其結(jié)構(gòu)主要包含加熱電阻和3對測溫?zé)犭娮?同時結(jié)合熱損失和熱溫差工作原理來實(shí)現(xiàn)寬量程的流速測量。設(shè)計(jì)了帶溫度補(bǔ)償?shù)碾p惠斯登電橋測控電路,利用STM32微處理器ADC模塊對多路流速測量結(jié)果進(jìn)行采樣。測試實(shí)驗(yàn)實(shí)現(xiàn)了0～32 m/s的輸入風(fēng)速測量,其中在1 m/s以下的低風(fēng)速段內(nèi)傳感器具有100 m V/(m·s^-1)的較高靈敏度,在風(fēng)速(1～7 m/s)和(7～32 m/s)下的靈敏度分別為83.1 m V/(m·s^-1)和28.3 m V/(m·s^-1)。該柔性MEMS流速傳感器可貼于曲面應(yīng)用,測量范圍大、精度高。

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【文章目錄】：
0 引言
1 寬量程柔性流速傳感器的結(jié)構(gòu)
2 柔性流速傳感器的測控電路設(shè)計(jì)
    2.1 帶溫度補(bǔ)償?shù)臏y控電路設(shè)計(jì)
    2.2 傳感器的多路數(shù)字輸出電路系統(tǒng)
3 柔性流速傳感器的測速實(shí)驗(yàn)及結(jié)果分析
    3.1 風(fēng)速測量實(shí)驗(yàn)
    3.2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果及分析
4 結(jié)束語



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