通過(guò)理論計(jì)算獲得Zn Te/Si(211)與Zn Te/Ga As(211)異質(zhì)結(jié)構(gòu)樣品室溫下的熱應(yīng)變分布與曲率半徑,并采用激光干涉儀測(cè)量?jī)蓚�(gè)樣品室溫下的曲率半徑。研究發(fā)現(xiàn),在(211)面上進(jìn)行異質(zhì)外延,兩個(gè)互相垂直的晶向方向[1-1-1]和[01-1]的應(yīng)變分布呈現(xiàn)各向異性,且沿兩個(gè)方向上的表面曲率半徑亦存在差異。Zn Te/Ga As(211)樣品的激光干涉測(cè)量結(jié)果與理論計(jì)算較為吻合,均為同一數(shù)量級(jí)的表面曲率半徑方向?yàn)樨?fù)的張應(yīng)變,Zn Te/Si(211)樣品的測(cè)量結(jié)果則存在較大差異。由于Si襯底在高溫脫氧的過(guò)程中產(chǎn)生了表面曲率半徑方向?yàn)檎乃苄孕巫?在一定程度上降低了外延Zn Te后異質(zhì)結(jié)構(gòu)的彎曲程度,減小了熱失配應(yīng)變。

【文章頁(yè)數(shù)】：5 頁(yè)

【文章目錄】：
0 引言
1 實(shí)驗(yàn)與建模
2 結(jié)果與討論
3 結(jié)論



本文編號(hào)：3836677