針對工作臺運動誤差,提出了一種基于計算全息的無衍射光莫爾條紋三自由度測量方法。通過液晶空間光調(diào)制器(SLM)生成無衍射光,利用兩束無衍射光干涉生成莫爾條紋。設計了無衍射光莫爾條紋三自由度測量光路,建立了三自由度運動誤差數(shù)學模型,并用幾何分析法將三種運動誤差(偏擺角、滾轉(zhuǎn)角和俯仰角)進行分離。利用旋轉(zhuǎn)臺模擬不同大小的三自由度運動誤差,帶有誤差信息的無衍射光和莫爾條紋圖案分別由CCD1和CCD2接收。實驗結(jié)果表明,通過光斑中心偏移量計算出的實際運動誤差值接近理論值,測量誤差不超過0.0104°,驗證了無衍射光莫爾條紋三自由度測量系統(tǒng)的可行性與正確性。

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【文章目錄】：
1 引言
2 測量理論
    2.1 無衍射光莫爾條紋特性
    2.2 三自由度測量系統(tǒng)
    2.3 三自由度運動誤差分離
        1)CCD1中光斑位置變化
        2)CCD2中光斑位置變化
3 實驗驗證
4 結(jié)論



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