光刻壓印是多尺度微納米流道工藝設計的關鍵技術,依據(jù)SU8-2025光刻膠與波長為350nm～400nm之間紫外激光光化學作用產(chǎn)生強酸的原理,選用黏度2500cSt、最大復型高度25的SU8-2025負性光刻膠和聚甲基丙烯酸甲酯（PolymethylMethacrylate,PMMA）正性光刻膠,通過微納米套刻工藝的優(yōu)化,實現(xiàn)了多尺度微納米流道復型壓印光刻,解決了涂膠、套刻、溫控、顯影以及微納米結(jié)構(gòu)光學測量等關鍵的技術問題,提高了微納米流道內(nèi)表面的質(zhì)量,為可降解血管支架的性能檢測提供了新的研究思路,也為多尺度復雜異形體的復型制造研究和發(fā)展提供必要的科學依據(jù)。 

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【文章目錄】：
0 引言
1 納米壓印光刻工藝
    1.1 熱壓印工藝
    1.2 紫外光復型光刻工藝
    1.3 微接觸印刷工藝
2 微流道復型工藝及其關鍵技術
    2.1 多尺度微流道基本參數(shù)及其掩模版
    2.2 復型工藝過程設計
    2.3 關鍵技術分析
        2.3.1 掩模版制作
        2.3.2 模具表面處理與灘涂工藝
        2.3.3 光刻膠的前烘、光刻、后烘、曝光以及顯影處理方法
        2.3.4 流道內(nèi)表面檢測及其后處理方法
        2.3.5 微流道器件在新型可降解血管支架設計中應用
3 結(jié)語


【參考文獻】：
期刊論文
[1]新型可降解聚合物血管支架的體內(nèi)血栓形成評價[J]. 鄭利萍,賈莉芳,袁暾,梁潔.  生物醫(yī)學工程學雜志. 2019(02)
[2]生物可降解材料聚乳酸在血管支架制備中的應用[J]. 朱月琳,湯文浩,胡雙龍,趙杰,周敏,李曉強.  血管與腔內(nèi)血管外科雜志. 2017(05)
[3]SU-8的紫外深度光刻模擬[J]. 田學紅,劉剛,田揚超,張新夷.  真空科學與技術. 2002(06)



本文編號：3714325