鈦鈮鎂酸鉛體系弛豫鐵電材料具有優(yōu)異的鐵電、介電、壓電和熱釋電性能,在微電子學(xué)、集成鐵電學(xué)和微電子機械系統(tǒng)等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用前景�？紤]到二元鈦鈮鎂酸鉛在使用過程中存在較低的居里點和相變溫度,全新一代的以Pb（In1/2Nb1/2）O3-Pb（Mg1/3Nb2/3）O3-Pb Ti O3（PIMNT）為代表的高居里點弛豫鐵電體吸引了廣泛的關(guān)注,有望在保持二元體系優(yōu)異電性能的同時,可大幅度拓寬器件工作溫度范圍。本論文即圍繞PIMNT高居里點弛豫鐵電體系的結(jié)構(gòu)與電學(xué)性質(zhì)展開研究,主要研究內(nèi)容和結(jié)果如下:1.研究了0.3Pb（In1/2Nb1/2）O3-0.4Pb（Mg1/3Nb2/3）O3-0.3Pb Ti O3（PIMNT（30/40/30））單晶常溫及變溫下的疇結(jié)構(gòu),鐵電、壓電和介電性能。在1 k Hz下,該單晶的介電常數(shù)εr為4046,損耗tanδ為0.008,頻率常數(shù)Nt為1896k Hz·mm,厚度伸縮模式機電耦合系數(shù)kt為0.56,品質(zhì)因數(shù)Qm為120,壓電系數(shù)(933*為1034 pm/V,剩余極化強度Pr和矯頑場Ec分別為23μC/cm2和2.9 k V/cm。常溫下的電疇尺... 

【文章頁數(shù)】：60 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第1章 緒論
    1.1 引言
    1.2 壓電鐵電材料概述
        1.2.1 壓電材料
        1.2.2 鐵電材料
    1.3 弛豫鐵電材料概述
    1.4 高居里點鈣鈦礦型弛豫鐵電體的近期研究進展
    1.5 本論文的提出與研究內(nèi)容
        1.5.1 本論文的提出
        1.5.2 本論文的研究內(nèi)容
第2章 實驗方法與內(nèi)容
    2.1 實驗流程
    2.2 單晶樣品加工
        2.2.1 單晶上電極
        2.2.2 單晶極化
        2.2.3 單晶減薄與拋光
    2.3 薄膜制備
        2.3.1 脈沖激光沉積系統(tǒng)
        2.3.2 小型離子濺射儀
    2.4 樣品的結(jié)構(gòu)表征
        2.4.1 相結(jié)構(gòu)表征
        2.4.2 顯微結(jié)構(gòu)表征
        2.4.3 電疇結(jié)構(gòu)表征
    2.5 樣品的電學(xué)性能表征
        2.5.1 導(dǎo)電性測試
        2.5.2 鐵電性能表征
        2.5.3 介電性能表征
        2.5.4 壓電性能表征
        2.5.5 I-V特性
第3章 PIMNT單晶結(jié)構(gòu)及電性能研究
    3.1 引言
    3.2 PIMNT單晶的結(jié)構(gòu)研究
    3.3 PIMNT單晶的電學(xué)性能分析
    3.4 本章小結(jié)
第4章 PIMNT鐵電薄膜制備及電性能研究
    4.1 引言
    4.2 PIMNT鐵電薄膜的制備及電性能研究
        4.2.1 PIMNT鐵電薄膜的制備
        4.2.2 不同沉積氧壓下PIMNT鐵電薄膜的結(jié)構(gòu)和電性能研究
        4.2.3 不同襯底溫度下PIMNT鐵電薄膜的結(jié)構(gòu)和電性能研究
    4.3 本章小結(jié)
第5章 總結(jié)與展望
    5.1 總結(jié)
    5.2 展望
參考文獻
攻讀學(xué)位期間取得的研究成果
致謝



本文編號：3684878