本文制備并研究了肖特基型β-Ga₂O₃日盲紫外光電探測(cè)器.結(jié)果表明:通過(guò)脈沖激光沉積外延生長(zhǎng)的β-Ga₂O₃的（-201）晶面X射線衍射峰半高寬僅為36 arcsec,表現(xiàn)出了高的晶體質(zhì)量;光暗條件下的I-V曲線顯示所制備的器件具有明顯的肖特基整流特性,在-5V偏壓下暗電流保持在0.1nA量級(jí),正向?qū)妷簽?.5V;光電流譜顯示器件在240nm處存在顯著的峰值響應(yīng),并在260nm左右呈現(xiàn)陡峭的截止邊,日盲紫外的帶內(nèi)帶外抑制比達(dá)到1000.同時(shí),也研究了不同摻雜對(duì)Ga₂O₃晶體質(zhì)量的影響. 

【文章頁(yè)數(shù)】：4 頁(yè)

【文章目錄】：
1 引言
2 實(shí)驗(yàn)
3 結(jié)果與討論
4 結(jié)論



本文編號(hào)：3673185