本文提出了一種激光自混合光柵干涉儀.通過(guò)利特羅結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),光柵衍射光沿入射方向原路返回激光器,和腔內(nèi)光混合產(chǎn)生激光自混合干涉效應(yīng).由于光柵多普勒效應(yīng)導(dǎo)致干涉相位隨光柵沿光柵矢量方向上的位移而改變.為了提高測(cè)量的精度,通過(guò)正弦調(diào)制半導(dǎo)體激光器的驅(qū)動(dòng)電流,調(diào)制激光自混合干涉信號(hào)的相位,并引入了傅里葉分析的方法解調(diào)相位,最終實(shí)現(xiàn)了光柵位移的重構(gòu).激光自混合干涉的機(jī)制和利特羅結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)保證了整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的緊湊性和自準(zhǔn)直性.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,測(cè)量系統(tǒng)的位移噪聲水平在50 nm以內(nèi). 

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【文章目錄】：
1 原理
    1.1 激光自混合光柵干涉原理
    1.2 正弦電流調(diào)制解調(diào)原理
2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與討論
    2.1 半導(dǎo)體激光器調(diào)制參數(shù)k的確定
    2.2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果
    2.3 測(cè)量結(jié)果分析
        2.3.1 測(cè)量靈敏度以及理論誤差
        2.3.2 系統(tǒng)的噪聲誤差
3 結(jié)論



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