發(fā)布時(shí)間：2022-04-23 14:25

　　隨著全球衛(wèi)星導(dǎo)航定位系統(tǒng)的興起和我國北斗系統(tǒng)的大力建設(shè),相關(guān)天線、芯片、板卡和接收機(jī)等配套產(chǎn)品發(fā)展迅速,對于接受和發(fā)射用高性能聲表面波濾波器的市場需求巨大。本文著重研究了采用42°Y-X LiTaO₃壓電材料和梯形設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的北斗Rx端用2492MHz低損耗聲表面波濾波器的實(shí)現(xiàn)過程。在對聲表面波,壓電材料及叉指換能器的原理,特性、參數(shù)等作了大量基礎(chǔ)性研究的基礎(chǔ)上,通過器件性能指標(biāo)需求分析,確認(rèn)了基本設(shè)計(jì)方案和工藝方向。然后經(jīng)過模擬仿真,在多個(gè)梯形級(jí)聯(lián)方案中選取損耗、帶寬和抑制均能較好滿足要求的串并聯(lián)結(jié)構(gòu),并進(jìn)一步優(yōu)化其串并連接方式以簡化諧振器數(shù)量。最后確認(rèn)了各諧振器的結(jié)構(gòu)參數(shù),得到了最終版圖。為保證器件的性能和可靠性,在聲表器件生產(chǎn)工藝方面也進(jìn)行了相應(yīng)的優(yōu)化,比如選擇了黑化還原鉭酸鋰作為襯底材料,采用剝離工藝制備叉指換能器,使用Al-Cu合金替代常規(guī)的Al,對壓焊電極區(qū)域進(jìn)行局部加厚等。最后對2492MHz聲表濾波器進(jìn)行了電性能測試和可靠性驗(yàn)證,結(jié)果證明了設(shè)計(jì)方案和工藝優(yōu)化的正確性。 

【文章頁數(shù)】：68 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第一章 緒論
    1.1 研究背景
    1.2 聲表面波技術(shù)的發(fā)展
    1.3 研究目的及意義
    1.4 論文的組織結(jié)構(gòu)
第二章 聲表面波器件
    2.1 聲表面波器件的基本工作原理
    2.2 聲表面波器件的特點(diǎn)和種類
    2.3 聲表面波濾波器
    2.4 本章小結(jié)
第三章 聲表面波壓電材料
    3.1 壓電性基礎(chǔ)研究
    3.2 壓電材料的重要參數(shù)
    3.3 壓電單晶材料
    3.4 本章小結(jié)
第四章 聲表面波叉指換能器
    4.1 叉指換能器的基本原理
    4.2 叉指換能器的重要參數(shù)
    4.3 叉指換能器的設(shè)計(jì)制作
    4.4 本章小結(jié)
第五章 濾波器整體設(shè)計(jì)方案
    5.1 需求分析
    5.2 整體設(shè)計(jì)
    5.3 方案優(yōu)化
    5.4 本章小結(jié)
第六章 工藝實(shí)現(xiàn)和性能測試
    6.1 芯片工藝
    6.2 封裝工藝
    6.3 性能測試
    6.4 本章小結(jié)
第七章 總結(jié)和展望
    7.1 總結(jié)
    7.2 展望
致謝
參考文獻(xiàn)



本文編號(hào)：3647360