通過微波等離子體化學(xué)氣相淀積技術(shù)生長(zhǎng)單晶金剛石并切割得到（110）和（111）晶面金剛石片,以同批器件工藝制備兩種晶面上柵長(zhǎng)為6μm的氫終端單晶金剛石場(chǎng)效應(yīng)管,從材料和器件特性兩方面對(duì)兩種晶面金剛石進(jìn)行對(duì)比分析.（110）面和（111）面金剛石的表面形貌在氫終端處理后顯著不同,光學(xué)性質(zhì)則彼此相似.VGS=–4 V時(shí),（111）金剛石器件獲得的最大飽和電流為80.41 m A/mm,約為（110）金剛石器件的1.4倍;其導(dǎo)通電阻為48.51 W·mm,只有（110）金剛石器件導(dǎo)通電阻的67%.通過對(duì)器件電容-電壓特性曲線的分析得到,（111）金剛石器件溝道中最大載流子密度與（110）金剛石器件差異不大.分析認(rèn)為,（111）金剛石器件獲得更高飽和電流和更低導(dǎo)通電阻,應(yīng)歸因于較低的方阻. 

【文章來源】：物理學(xué)報(bào). 2020,69(02)北大核心EISCICSCD

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【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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