利用飛秒激光油液輔助的加工方式,在單模光纖端面附近制作出20μm直徑的精密柱形微孔。利用微孔與光纖端面形成了具有明顯光拍和游標(biāo)效應(yīng)的法布里-珀羅傳感器,實(shí)現(xiàn)了對(duì)環(huán)境參數(shù)的測(cè)量。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示了傳感器對(duì)外界溫度、濕度、折射率以及氣壓具有較好的線性響應(yīng),傳感器具有-0.0669dB/℃的低溫靈敏度、0.74nm/%RH的濕度靈敏度、6.5nm/RIU的折射率靈敏度、12.23pm/℃的高溫靈敏度以及1.743dB/MPa的氣壓靈敏度。該傳感器具有制作簡單、性能穩(wěn)定、結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點(diǎn)。 

【文章來源】：激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2020,57(11)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：7 頁

【部分圖文】：

柱形微孔顯微圖。（a）單孔側(cè)面圖；（b）單孔頂部圖；（c)2孔側(cè)面圖；（d)2孔頂部圖

傳感器光路示意圖

傳感器反射光譜。（a)L=70,80,90μm;(b)L=80μm

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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