光刻技術(shù)作為加工半導(dǎo)體器件的核心技術(shù),經(jīng)歷了接觸光刻到掃描光刻的發(fā)展歷程,由于制作成本過高,如何降低成本并探索新的光刻技術(shù)成為了研究熱點�；跀�(shù)字微鏡器件（Digital Micromirror Device,DMD）的數(shù)字光刻技術(shù),使用DMD代替掩膜版,每次光刻時不需要針對光刻圖形制造掩膜版,從而降低光刻的制造成本,能夠?qū)崿F(xiàn)實時、高效率的光刻加工,提高光刻技術(shù)的靈活性。通過對DMD數(shù)字光刻系統(tǒng)工作原理的研究,確立其光學(xué)系統(tǒng)由照明系統(tǒng)、分光系統(tǒng)、投影系統(tǒng)三部分組成。照明系統(tǒng)使用復(fù)眼透鏡作為的勻束及整形器件,以405nm波長的高斯光源作為模擬光源,設(shè)計了將不均勻的圓形斑整形為均勻的方形斑照明系統(tǒng),使用9點采樣法對均勻度進(jìn)行測量,模擬均勻度可達(dá)97.6%。根據(jù)DMD的工作特性,設(shè)計三塊全反射棱鏡以實現(xiàn)DMD的“開”“關(guān)”態(tài)光束分離。設(shè)計的全反射棱鏡可將照明光路與投影光路采用垂直連接的方式進(jìn)行投影光刻,更便于兩者在集成時機(jī)械結(jié)構(gòu)的設(shè)計,繼承并完善DMD型分光棱鏡的設(shè)計理論。將設(shè)計結(jié)果代入光學(xué)軟件模擬,模擬并驗證棱鏡與照明系統(tǒng)銜接后可實現(xiàn)DMD“開”“關(guān)”態(tài)光束的分離。為了得到更大的光刻幅面,... 

【文章來源】：長春理工大學(xué)吉林省

【文章頁數(shù)】：73 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

接觸式曝光

接近式曝光

投影式曝光

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]利用干涉光刻技術(shù)制備LED表面微納結(jié)構(gòu)[J]. 程俊超,劉宏偉,耿照新,郭凱,于丹丹,寧平凡,李曉云,張建新.  發(fā)光學(xué)報. 2017(04)
[2]工業(yè)雙遠(yuǎn)心系統(tǒng)的設(shè)計[J]. 羅春華,侯銳利,于艇,李艷紅.  長春理工大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版). 2015(06)
[3]圖像顯示技術(shù)及其最新發(fā)展趨勢[J]. 雷玉堂.  中國公共安全. 2015(16)
[4]2μm分辨DMD光刻系統(tǒng)鏡頭設(shè)計[J]. 郭華,周金運,劉志濤,雷亮.  光電工程. 2015(03)
[5]基于DMD的紅外目標(biāo)模擬器光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計[J]. 顧法權(quán),張寧,徐熙平,喬楊.  長春理工大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版). 2014(06)
[6]基于DMD的紅外目標(biāo)模擬器偏振分光系統(tǒng)[J]. 孫永雪,龍夫年,孟慶宇,趙曉,王超,周軍.  紅外與激光工程. 2014(03)
[7]亞10μm線寬的投影光刻物鏡設(shè)計及其成像性能的實驗測定[J]. 雷亮,李浪林,袁煒,劉新,周金運.  應(yīng)用光學(xué). 2014(02)
[8]大焦深數(shù)字灰度光刻物鏡設(shè)計[J]. 胡思熠,許忠保.  激光技術(shù). 2013(04)
[9]數(shù)字光刻縮微投影系統(tǒng)物鏡的設(shè)計[J]. 劉海勇,周金運,雷亮,劉麗霞,劉志濤,郭華.  光電工程. 2013(07)
[10]用于光刻機(jī)照明均勻化的微柱面鏡陣列設(shè)計[J]. 肖艷芬,朱菁,楊寶喜,胡中華,曾愛軍,黃惠杰.  中國激光. 2013(02)

碩士論文
[1]基于DMD的掃描光刻系統(tǒng)的畸變誤差分析與校正技術(shù)的研究[D]. 肖遙.東北師范大學(xué) 2018
[2]基于DMD的掃描光刻系統(tǒng)圖案生成質(zhì)量優(yōu)化方案的研究[D]. 陳榮環(huán).東北師范大學(xué) 2018
[3]用于光刻成像的DMD圖像曝光方法研究與實現(xiàn)[D]. 池文明.電子科技大學(xué) 2017
[4]多視場紅外景象模擬器光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計[D]. 李卓.長春理工大學(xué) 2017
[5]基于DMD的紅外目標(biāo)模擬光學(xué)系統(tǒng)研究[D]. 王海鵬.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2016
[6]干涉光刻法制備任意圖形微納結(jié)構(gòu)及其SERS應(yīng)用的研究[D]. 崔辰靜.中國科學(xué)技術(shù)大學(xué) 2016
[7]UV-LED曝光系統(tǒng)及曝光工藝研究[D]. 高軒.北京交通大學(xué) 2016
[8]基于DLP應(yīng)用的光刻物鏡設(shè)計與微型投影機(jī)光學(xué)系統(tǒng)研究[D]. 鄺健.廣東工業(yè)大學(xué) 2016
[9]基于DMD的數(shù)字光刻技術(shù)研究[D]. 熊崢.中國科學(xué)院研究生院(長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所) 2016
[10]基于DLP技術(shù)的激光投影系統(tǒng)光路設(shè)計[D]. 鐘巖.長春理工大學(xué) 2016



本文編號：3556586