本文重點研究了一種軸向取代酞菁材料:酞菁鈦二氯（Ti Cl2Pc）,在已報道的文獻中未見其應(yīng)用于TFT器件,因此本文將Ti Cl2Pc作為有源層材料應(yīng)用到有機薄膜晶體管器件的制備當(dāng)中。同時針對在制備Ti Cl2Pc OTFT時存在的有源層與絕緣層界面缺陷多而導(dǎo)致晶體管遷移率下降的問題,通過對有源層與絕緣層的界面進行有機硅烷試劑修飾和弱外延生長的方法來改善有機薄膜的生長行為,進而提高有機薄膜的質(zhì)量以及OTFT器件的電學(xué)性能。首先研究了有機硅烷試劑修飾對Ti Cl2Pc OTFT器件性能與薄膜形貌的影響:采用十八烷基三氯硅烷（OTS）試劑對Si O2絕緣層表面進行了修飾,對修飾后的Ti Cl2Pc OTFT與未被修飾的Ti Cl2Pc OTFT進行了I-V特性測試以及原子力形貌表征測試。實驗結(jié)果表明經(jīng)OTS修飾后的Ti Cl2Pc OTFT器件性能明顯提升。并且經(jīng)OTS修飾后的Ti Cl2Pc薄膜與未經(jīng)修飾的Ti Cl2Pc薄膜相比,薄膜表面更為平整連續(xù),表面缺陷更少,晶粒尺寸更大,更有利于載流子的產(chǎn)生與傳輸。其次研究了弱外延生長對Ti Cl2Pc OTFT器件性能與薄膜形貌的影響:采用有... 

【文章來源】：長春理工大學(xué)吉林省

【文章頁數(shù)】：57 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖1.1雙層異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)的雙極型OTFT結(jié)構(gòu)示意圖

酞菁的分子結(jié)構(gòu)：a)無金屬酞菁b)金屬酞菁

弱外延生長示意圖

【參考文獻】：
期刊論文
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[3]基于有機薄膜晶體管與有機電化學(xué)晶體管的生物傳感器研究進展[J]. 馮曉倩,顧文,張霞,蔣浩.  材料導(dǎo)報. 2019(07)
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碩士論文
[1]基于有機薄膜晶體管的射頻識別標(biāo)簽電路[D]. 宮玉昕.山東大學(xué) 2019
[2]基于Pentacene的薄膜晶體管的制備及其性能研究[D]. 匡鵬.電子科技大學(xué) 2018



本文編號：3554393