針對(duì)體聲波（BAW）濾波器與測(cè)試儀器間接口形式不同而無(wú)法直接測(cè)試的問(wèn)題,設(shè)計(jì)了一款BAW濾波器板上測(cè)試夾具。首先根據(jù)經(jīng)驗(yàn)公式初步確定夾具介質(zhì)基片厚度,并導(dǎo)入ADS中LineCacl工具,計(jì)算出夾具微帶線長(zhǎng)度、寬度的初始值;在ADS中建立TDR瞬態(tài)仿真電路,進(jìn)行微帶線阻抗不匹配研究,給出相應(yīng)的解決方法,將初始設(shè)計(jì)的夾具結(jié)構(gòu)參數(shù)導(dǎo)入ADS進(jìn)行阻抗匹配復(fù)核;選用3款不同中心頻率的BAW濾波器作為待測(cè)器件（DUT）,分別進(jìn)行了片上探針和板上夾具測(cè)試,并將同一濾波器測(cè)試結(jié)果的散射參數(shù)矩陣參量(S₁₁、S₁₂、S₂₁、S₂₂)曲線進(jìn)行對(duì)比。對(duì)比結(jié)果表明,與片上測(cè)試相比,板上測(cè)試曲線略有偏移,但兩者趨勢(shì)一致;板上測(cè)試S₁₂-S₂₁曲線、S₁₁-S₂₂曲線吻合較好。板上測(cè)試結(jié)果可為后續(xù)去嵌入校準(zhǔn)提供比較可靠的初始值。 

【文章來(lái)源】：壓電與聲光. 2020,42(02)北大核心

【文章頁(yè)數(shù)】：7 頁(yè)

【部分圖文】：

板上測(cè)試夾具結(jié)構(gòu)示意圖

采用時(shí)域反射儀(TDR)監(jiān)測(cè)階躍信號(hào)變化可得出反射系數(shù)的變化,進(jìn)而計(jì)算傳輸線的特征阻抗。得到初始微帶線參數(shù)后,利用TDR進(jìn)行傳輸線阻抗匹配分析。在ADS軟件中,搭建微帶線的TDR電路仿真模型如圖2所示。圖中,MLIN是被測(cè)的微帶線,階躍電壓源VtStep作為階躍信號(hào)發(fā)生器,理想微帶傳輸線TLIN作為被測(cè)傳輸線的參考,網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)電壓Vin用于觀察信號(hào)變化。根據(jù)圖2模型在ADS軟件中仿真得到瞬態(tài)仿真曲線如圖3所示。在得到TDR階躍脈沖信號(hào)曲線(見(jiàn)圖3)過(guò)程中,小的凹陷(見(jiàn)圖3(a))代表電容特性;小的凸起(見(jiàn)圖3(b))代表電感效應(yīng)[11],因此可分析傳輸線的電容/電感特性。

根據(jù)圖2模型在ADS軟件中仿真得到瞬態(tài)仿真曲線如圖3所示。在得到TDR階躍脈沖信號(hào)曲線(見(jiàn)圖3)過(guò)程中,小的凹陷(見(jiàn)圖3(a))代表電容特性;小的凸起(見(jiàn)圖3(b))代表電感效應(yīng)[11],因此可分析傳輸線的電容/電感特性。圖3 微帶傳輸線瞬態(tài)仿真曲線

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]FBAR板上測(cè)試技術(shù)綜述[J]. 許夏茜,高楊,劉婷婷.  中國(guó)測(cè)試. 2019(02)
[2]體聲波濾波器的片上測(cè)試與性能表征[J]. 高楊,蔡洵,賀學(xué)鋒,劉海濤.  壓電與聲光. 2015(05)

碩士論文
[1]射頻無(wú)源表面貼裝元件的校準(zhǔn)與測(cè)量技術(shù)的研究[D]. 楊賀.電子科技大學(xué) 2014



本文編號(hào)：3550406