利用自動焊線機、推拉力測試儀、掃描電鏡等研究了燒球電流、燒球時間、超聲功率和鍵合壓力對Ag-5Au鍵合合金線FAB（Free Air Ball）特性及鍵合強度的影響。研究結果表明當燒球時間為750μs,燒球電流為2 600 mA時FAB球形成橢圓形,燒球電流為2 800 mA時FAB出現高爾夫球;燒球電流為2 700 mA,燒球時間為700μs時FAB偏小,燒球時間為800μs時FAB偏大;當燒球時間為750μs燒球電流為2 700 mA時FAB形貌良好。當超聲功率為85 mW鍵合壓力為65 g時造成焊盤的損壞;超聲功率為50 mW鍵合壓力為35 g時出現假焊;超聲功率為60 mW鍵合壓力為45 g時鍵合強度良好。 

【文章來源】：功能材料. 2020,51(10)北大核心CSCD

【文章頁數】：5 頁

【部分圖文】：

EFO電流參數分析

EFO時間參數分析

圖2 EFO時間參數分析鍵合過程中,超聲功率和鍵合壓力通過劈刀施加在鍵合線上,使得鍵合線與焊盤緊密接觸,在超聲的作用下鍵合引線與焊盤表面產生高頻振動,從而清除線材與焊盤表面的污染物,同時,鍵合線在超聲作用下內部產生大量位錯,進而實現鍵合引線與基板之間產生快速擴散通道。當第一焊點超聲功率為50 mW,鍵合壓力為35 g時,不能產生足夠的能量和壓力,鍵合線和焊盤表面的污染物和氧化物也不能徹底破壞,鍵合線內部的位錯量增加不足,進而影響了金屬原子的相互擴散,導致球焊點推力低。當第一焊點超聲功率為85 mW,鍵合壓力為65 g,過大的壓力使得無空氣焊球形變量過大,進而溢出焊盤,導致器件失效。

【參考文獻】：
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