設(shè)計了在極近紅外波段（890nm）的聚合物基狹縫波導(dǎo)微環(huán)折射率傳感器.分析了波導(dǎo)高度、寬度及狹縫寬度對靈敏度的影響,以找到最佳的設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)用于折射率傳感.采用電子束光刻工藝制備了硅母版模,并用獨特的氟化聚合物PFPE從硅母版模上成功制備了柔性軟模具.采用紫外軟壓印工藝制備了聚合物基狹縫波導(dǎo).波導(dǎo)的寬度和高度以及狹縫波導(dǎo)的寬度分別約為510nm、830nm和234nm,聚合物狹縫波導(dǎo)殘留層的厚度約為350nm.制備的狹縫波導(dǎo)具有高的高寬比并與低成本批量生產(chǎn)工藝相兼容. 

【文章來源】：光子學(xué)報. 2020,49(02)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】：8 頁

【部分圖文】：

基于狹縫波導(dǎo)的微環(huán)諧振器俯視圖

聚合物狹縫波導(dǎo)結(jié)構(gòu)橫截面

圖2 聚合物狹縫波導(dǎo)結(jié)構(gòu)橫截面采用上述計算方法計算狹縫波導(dǎo)在不同狹縫寬度Wg的單模條件，結(jié)果如表1所示．從表中可以看出，隨著狹縫寬度從50nm增加至250nm，滿足單模條件的波導(dǎo)總寬度W范圍越來越小．這是因為隨著狹縫寬度的增加，兩個波導(dǎo)更接近平行放置，易產(chǎn)生如圖3(b）所示的光場主要分布于狹縫兩側(cè)波導(dǎo)結(jié)構(gòu)內(nèi)的一階高階模式．

【參考文獻(xiàn)】：
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本文編號：3520803