針對太赫茲光束的光斑直徑較大和傳輸途徑不同的現(xiàn)狀,提出大面元太赫茲熱釋電探測器和多用途探測器結(jié)構(gòu)研究,用于自由空間和波導傳輸太赫茲光束功率的測試。首先使用有限元分析軟件建立太赫茲熱釋電探測器模型,開展熱電耦合仿真設計;其次使用精密研磨拋光工藝、平面集成電路微納米加工技術(shù)、勻膠與剝離工藝、砂輪劃片技術(shù)等工藝技術(shù),開展太赫茲熱釋電探測器研制;最后創(chuàng)新設計裝配在探測器結(jié)構(gòu)上的套筒與波導適配器。理論分析和實驗結(jié)果表明:該方法設計的太赫茲熱釋電探測器具有噪聲等效功率低、重復性高特點,并且解決了自由空間與波導傳輸太赫茲輻射功率兼容測試問題。 

【文章來源】：紅外與激光工程. 2020,49(05)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】：6 頁

【參考文獻】：
期刊論文
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碩士論文
[1]基于鉭酸鋰晶片的熱釋電探測器敏感元研制[D]. 程金寶.電子科技大學 2017



本文編號：3515815