大型儀器設(shè)備共享是節(jié)約社會資源的重要手段。該文以上海交通大學(xué)先進電子材料與器件校級平臺為基礎(chǔ),從實驗室環(huán)境、設(shè)備工藝、物資需求、研究方向、人員等方面系統(tǒng)分析和總結(jié)了開放式半導(dǎo)體微納加工平臺的特點,并對實驗平臺開放所面臨的挑戰(zhàn)進行了探討,為開放式半導(dǎo)體微納加工平臺的建設(shè)和管理提供借鑒和參考。 

【文章來源】：實驗技術(shù)與管理. 2020,37(02)北大核心

【文章頁數(shù)】：4 頁

【部分圖文】：

潔凈室常用物資分類（2）質(zhì)量要求高

王英，等：開放式半導(dǎo)體微納加工平臺的開放管理模式探討231延伸到包括化學(xué)、生物、物理、材料等多個學(xué)科領(lǐng)域，這就對開放的微納加工平臺提出了挑戰(zhàn)，我校微納加工平臺支持的各學(xué)科領(lǐng)域見圖2。圖2半導(dǎo)體微納加工平臺支持的各學(xué)科領(lǐng)域半導(dǎo)體微納加工平臺不僅要面對同一領(lǐng)域的不同用戶需求，還要面對不同領(lǐng)域用戶的科研需求，因此也對平臺的研發(fā)能力提出了挑戰(zhàn)。1.5人員特點（1）用戶特點：進入平臺實驗室的人員具有組成復(fù)雜、人數(shù)較多的特點，半導(dǎo)體微納加工平臺歷年新增用戶的數(shù)量見圖3。開放式平臺要求用戶參與度高，特別是對于微納加工工藝，需要用戶在工藝過程中全程參與，但由于半導(dǎo)體工藝對潔凈度的要求較高，越多的人員進入，對實驗室的潔凈度越不利。有研究表明，顆粒物產(chǎn)生的來源主要包括人員、設(shè)備、工藝過程、物資、潔凈室運行等，其中，人員是產(chǎn)生微塵的主要來源，約占總量的70%，因此控制進入潔凈室人員的數(shù)量及加強進入潔凈室人員的管理是平臺正常運行管理的關(guān)鍵之一。圖3半導(dǎo)體微納加工平臺歷年新增用戶數(shù)量（2）半導(dǎo)體微納加工平臺管理人員特點：平臺管理人員專業(yè)化程度要求高，專業(yè)面要求廣。由于半導(dǎo)體工藝的復(fù)雜性和前沿性，因此要求設(shè)備工藝管理人員有較強的專業(yè)性，不僅能夠進行設(shè)備的基本操作和維護，同時還要具有科學(xué)精神，能夠幫助用戶分析在工藝中出現(xiàn)的問題。實驗室管理人員需要熟悉潔凈室、物資、設(shè)備、工藝、人員等方面的特點，了解實驗室管理及安全方面的關(guān)鍵問題，從而能夠綜合判斷和設(shè)計實驗室及人員管理方案，使平臺能夠兼顧工藝開發(fā)和開放。2半導(dǎo)體微納加工實驗室開放平臺管理模式的優(yōu)化由于開放式半導(dǎo)體微納加工實驗室的特點既不同于相對封閉的企業(yè)式研發(fā)平臺，也不

王英，等：開放式半導(dǎo)體微納加工平臺的開放管理模式探討231延伸到包括化學(xué)、生物、物理、材料等多個學(xué)科領(lǐng)域，這就對開放的微納加工平臺提出了挑戰(zhàn)，我校微納加工平臺支持的各學(xué)科領(lǐng)域見圖2。圖2半導(dǎo)體微納加工平臺支持的各學(xué)科領(lǐng)域半導(dǎo)體微納加工平臺不僅要面對同一領(lǐng)域的不同用戶需求，還要面對不同領(lǐng)域用戶的科研需求，因此也對平臺的研發(fā)能力提出了挑戰(zhàn)。1.5人員特點（1）用戶特點：進入平臺實驗室的人員具有組成復(fù)雜、人數(shù)較多的特點，半導(dǎo)體微納加工平臺歷年新增用戶的數(shù)量見圖3。開放式平臺要求用戶參與度高，特別是對于微納加工工藝，需要用戶在工藝過程中全程參與，但由于半導(dǎo)體工藝對潔凈度的要求較高，越多的人員進入，對實驗室的潔凈度越不利。有研究表明，顆粒物產(chǎn)生的來源主要包括人員、設(shè)備、工藝過程、物資、潔凈室運行等，其中，人員是產(chǎn)生微塵的主要來源，約占總量的70%，因此控制進入潔凈室人員的數(shù)量及加強進入潔凈室人員的管理是平臺正常運行管理的關(guān)鍵之一。圖3半導(dǎo)體微納加工平臺歷年新增用戶數(shù)量（2）半導(dǎo)體微納加工平臺管理人員特點：平臺管理人員專業(yè)化程度要求高，專業(yè)面要求廣。由于半導(dǎo)體工藝的復(fù)雜性和前沿性，因此要求設(shè)備工藝管理人員有較強的專業(yè)性，不僅能夠進行設(shè)備的基本操作和維護，同時還要具有科學(xué)精神，能夠幫助用戶分析在工藝中出現(xiàn)的問題。實驗室管理人員需要熟悉潔凈室、物資、設(shè)備、工藝、人員等方面的特點，了解實驗室管理及安全方面的關(guān)鍵問題，從而能夠綜合判斷和設(shè)計實驗室及人員管理方案，使平臺能夠兼顧工藝開發(fā)和開放。2半導(dǎo)體微納加工實驗室開放平臺管理模式的優(yōu)化由于開放式半導(dǎo)體微納加工實驗室的特點既不同于相對封閉的企業(yè)式研發(fā)平臺，也不

【參考文獻】：
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本文編號：3510248