大型儀器設(shè)備共享是節(jié)約社會(huì)資源的重要手段。該文以上海交通大學(xué)先進(jìn)電子材料與器件校級(jí)平臺(tái)為基礎(chǔ),從實(shí)驗(yàn)室環(huán)境、設(shè)備工藝、物資需求、研究方向、人員等方面系統(tǒng)分析和總結(jié)了開(kāi)放式半導(dǎo)體微納加工平臺(tái)的特點(diǎn),并對(duì)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)開(kāi)放所面臨的挑戰(zhàn)進(jìn)行了探討,為開(kāi)放式半導(dǎo)體微納加工平臺(tái)的建設(shè)和管理提供借鑒和參考。 

【文章來(lái)源】：實(shí)驗(yàn)技術(shù)與管理. 2020,37(02)北大核心

【文章頁(yè)數(shù)】：4 頁(yè)

【部分圖文】：

潔凈室常用物資分類（2）質(zhì)量要求高

王英，等：開(kāi)放式半導(dǎo)體微納加工平臺(tái)的開(kāi)放管理模式探討231延伸到包括化學(xué)、生物、物理、材料等多個(gè)學(xué)科領(lǐng)域，這就對(duì)開(kāi)放的微納加工平臺(tái)提出了挑戰(zhàn)，我校微納加工平臺(tái)支持的各學(xué)科領(lǐng)域見(jiàn)圖2。圖2半導(dǎo)體微納加工平臺(tái)支持的各學(xué)科領(lǐng)域半導(dǎo)體微納加工平臺(tái)不僅要面對(duì)同一領(lǐng)域的不同用戶需求，還要面對(duì)不同領(lǐng)域用戶的科研需求，因此也對(duì)平臺(tái)的研發(fā)能力提出了挑戰(zhàn)。1.5人員特點(diǎn)（1）用戶特點(diǎn)：進(jìn)入平臺(tái)實(shí)驗(yàn)室的人員具有組成復(fù)雜、人數(shù)較多的特點(diǎn)，半導(dǎo)體微納加工平臺(tái)歷年新增用戶的數(shù)量見(jiàn)圖3。開(kāi)放式平臺(tái)要求用戶參與度高，特別是對(duì)于微納加工工藝，需要用戶在工藝過(guò)程中全程參與，但由于半導(dǎo)體工藝對(duì)潔凈度的要求較高，越多的人員進(jìn)入，對(duì)實(shí)驗(yàn)室的潔凈度越不利。有研究表明，顆粒物產(chǎn)生的來(lái)源主要包括人員、設(shè)備、工藝過(guò)程、物資、潔凈室運(yùn)行等，其中，人員是產(chǎn)生微塵的主要來(lái)源，約占總量的70%，因此控制進(jìn)入潔凈室人員的數(shù)量及加強(qiáng)進(jìn)入潔凈室人員的管理是平臺(tái)正常運(yùn)行管理的關(guān)鍵之一。圖3半導(dǎo)體微納加工平臺(tái)歷年新增用戶數(shù)量（2）半導(dǎo)體微納加工平臺(tái)管理人員特點(diǎn)：平臺(tái)管理人員專業(yè)化程度要求高，專業(yè)面要求廣。由于半導(dǎo)體工藝的復(fù)雜性和前沿性，因此要求設(shè)備工藝管理人員有較強(qiáng)的專業(yè)性，不僅能夠進(jìn)行設(shè)備的基本操作和維護(hù)，同時(shí)還要具有科學(xué)精神，能夠幫助用戶分析在工藝中出現(xiàn)的問(wèn)題。實(shí)驗(yàn)室管理人員需要熟悉潔凈室、物資、設(shè)備、工藝、人員等方面的特點(diǎn)，了解實(shí)驗(yàn)室管理及安全方面的關(guān)鍵問(wèn)題，從而能夠綜合判斷和設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)室及人員管理方案，使平臺(tái)能夠兼顧工藝開(kāi)發(fā)和開(kāi)放。2半導(dǎo)體微納加工實(shí)驗(yàn)室開(kāi)放平臺(tái)管理模式的優(yōu)化由于開(kāi)放式半導(dǎo)體微納加工實(shí)驗(yàn)室的特點(diǎn)既不同于相對(duì)封閉的企業(yè)式研發(fā)平臺(tái)，也不

王英，等：開(kāi)放式半導(dǎo)體微納加工平臺(tái)的開(kāi)放管理模式探討231延伸到包括化學(xué)、生物、物理、材料等多個(gè)學(xué)科領(lǐng)域，這就對(duì)開(kāi)放的微納加工平臺(tái)提出了挑戰(zhàn)，我校微納加工平臺(tái)支持的各學(xué)科領(lǐng)域見(jiàn)圖2。圖2半導(dǎo)體微納加工平臺(tái)支持的各學(xué)科領(lǐng)域半導(dǎo)體微納加工平臺(tái)不僅要面對(duì)同一領(lǐng)域的不同用戶需求，還要面對(duì)不同領(lǐng)域用戶的科研需求，因此也對(duì)平臺(tái)的研發(fā)能力提出了挑戰(zhàn)。1.5人員特點(diǎn)（1）用戶特點(diǎn)：進(jìn)入平臺(tái)實(shí)驗(yàn)室的人員具有組成復(fù)雜、人數(shù)較多的特點(diǎn)，半導(dǎo)體微納加工平臺(tái)歷年新增用戶的數(shù)量見(jiàn)圖3。開(kāi)放式平臺(tái)要求用戶參與度高，特別是對(duì)于微納加工工藝，需要用戶在工藝過(guò)程中全程參與，但由于半導(dǎo)體工藝對(duì)潔凈度的要求較高，越多的人員進(jìn)入，對(duì)實(shí)驗(yàn)室的潔凈度越不利。有研究表明，顆粒物產(chǎn)生的來(lái)源主要包括人員、設(shè)備、工藝過(guò)程、物資、潔凈室運(yùn)行等，其中，人員是產(chǎn)生微塵的主要來(lái)源，約占總量的70%，因此控制進(jìn)入潔凈室人員的數(shù)量及加強(qiáng)進(jìn)入潔凈室人員的管理是平臺(tái)正常運(yùn)行管理的關(guān)鍵之一。圖3半導(dǎo)體微納加工平臺(tái)歷年新增用戶數(shù)量（2）半導(dǎo)體微納加工平臺(tái)管理人員特點(diǎn)：平臺(tái)管理人員專業(yè)化程度要求高，專業(yè)面要求廣。由于半導(dǎo)體工藝的復(fù)雜性和前沿性，因此要求設(shè)備工藝管理人員有較強(qiáng)的專業(yè)性，不僅能夠進(jìn)行設(shè)備的基本操作和維護(hù)，同時(shí)還要具有科學(xué)精神，能夠幫助用戶分析在工藝中出現(xiàn)的問(wèn)題。實(shí)驗(yàn)室管理人員需要熟悉潔凈室、物資、設(shè)備、工藝、人員等方面的特點(diǎn)，了解實(shí)驗(yàn)室管理及安全方面的關(guān)鍵問(wèn)題，從而能夠綜合判斷和設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)室及人員管理方案，使平臺(tái)能夠兼顧工藝開(kāi)發(fā)和開(kāi)放。2半導(dǎo)體微納加工實(shí)驗(yàn)室開(kāi)放平臺(tái)管理模式的優(yōu)化由于開(kāi)放式半導(dǎo)體微納加工實(shí)驗(yàn)室的特點(diǎn)既不同于相對(duì)封閉的企業(yè)式研發(fā)平臺(tái)，也不

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力現(xiàn)狀及提升策略[J]. 査貴勇.  產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新研究. 2019(04)
[2]學(xué)科交叉型實(shí)驗(yàn)室的運(yùn)行與管理[J]. 樸瑩,唐建斌,劉祥瑞,周珠賢,段真,申有青.  實(shí)驗(yàn)技術(shù)與管理. 2019(01)
[3]開(kāi)放高�？蒲袑�(shí)驗(yàn)室 培養(yǎng)學(xué)生創(chuàng)新實(shí)踐能力[J]. 陸紫生,王如竹,柯霞,羅偉莉.  實(shí)驗(yàn)室研究與探索. 2018(09)
[4]強(qiáng)化實(shí)驗(yàn)室危險(xiǎn)化學(xué)品管理的思考與實(shí)踐[J]. 彭華松,劉闖,丁珍菊,謝亞萍,徐佰亮.  實(shí)驗(yàn)室研究與探索. 2018(08)
[5]“5S”法在高校實(shí)驗(yàn)室安全管理中應(yīng)用[J]. 陽(yáng)富強(qiáng),宋雨澤,蔡逸倫.  實(shí)驗(yàn)室研究與探索. 2018(07)
[6]綜合性大學(xué)優(yōu)勢(shì)學(xué)科群與大科研平臺(tái)的協(xié)同發(fā)展[J]. 楊清華,許儀.  實(shí)驗(yàn)技術(shù)與管理. 2018(06)
[7]實(shí)驗(yàn)室效能最大化是建設(shè)一流學(xué)科的重要推手[J]. 趙紅亮.  實(shí)驗(yàn)技術(shù)與管理. 2018(06)
[8]2018年中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)融入全球半導(dǎo)體發(fā)展的展望[J]. 王龍興.  集成電路應(yīng)用. 2018(04)
[9]面向高校MEMS實(shí)驗(yàn)室的5S管理方法探索[J]. 張溪,劉軍山,徐征,崔巖,陳莉,王天嬈.  實(shí)驗(yàn)室科學(xué). 2018(01)
[10]半導(dǎo)體器件研究生培養(yǎng)探索與實(shí)踐[J]. 吳麗娟,雷冰,張銀艷.  科教導(dǎo)刊(下旬). 2018(01)



本文編號(hào)：3510248